勻膠機產品特點:
1、穩定的轉速和快 速啟動,可保證膠厚度的一 致性和均勻性;
2、轉速在12000轉/分范圍內穩定,美國國家標準 技 術研究院(NIST)認 證過;
3、采用PLC控制,速度可調節,在啟動之后一般工藝先以低速運轉使膠攤開,然后自動變到高速運轉,步驟轉速及相應的時間分別可調;
4、數據模擬:勻膠實驗時將一組設定的涂膠速度和時長數值輸入系統,系統會據此計算出速度設定方案,帶有速度隨 時間變化的曲 線;
5、數據記錄:為了提 高實驗的可重復性,設備會在數據記錄模式下,實時記錄下前一 次工藝過程的實驗實際值,并將該組數據存儲并重復調用,達到近乎一 致的可重復性;
6、NPP材質耐腐蝕及抗震;
一、勻膠機性能指標:
1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm;
3、轉動速度:0-12,000rpm,
4、旋涂加速度:0-12000rpm/sec(空載);
5、馬達旋涂轉速:穩定性能誤差<±1 %;
6、轉速調節精度:<0.2rpm,重復性< 0.2rpm;
7、工藝時間設定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、勻膠機材質:NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
9、高精 度數碼控制器:PLC控制,設置點精度小于0.006%。
10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態;
11、分辨率:分辨率小于0.5轉/分,可重復性小于±0.5轉/分,美國國家標準技 術研究院(NIST)認 證過的,并且不用再校準!]
12、配套真空泵系統:無 油型 220~240伏交流,50/60赫茲;
13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
14、水平測試儀;
應用領域:
鈣鈦礦太陽能電池Perovskite solar cells
有機太陽電池
OPV有機光伏
OLED有機發光二 極管
OFET & TFT有機場效應晶體管&薄膜晶體管
Graphene &2D石墨烯&二維材料
Substrates襯底
Materials材料