性能指標
- 能量分辨率：0.48eV/(Ag 3d5/2），0.68eV/(C 1s)（PET 上O-C=O 的C 1s）
- 最小分析區域（收譜） <10μm
- 靈敏度（Ag 3d5/2） ：大面積 11,800kcps (1.3eV )
- 空間分辨率 (快速平行成像 )：小于3μm
- 空間分辨率(掃描成像)：15μm 和27μm
主要應用
- 儀器具有高能量分辨率和高檢測靈敏度。
- 主要應用于各種有機和無機固體材料的表面元素及其價態定性、定量分析，表面元素化學成像及深度剖析；可用于腐蝕、摩擦、浸潤、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面過程的研究。
樣品要求
- 不能被測試的樣品種類： 放射性的樣品；具有強磁性樣品（注意：易被磁化或弱磁性粉末材料需要被壓成片后方可送樣，易被磁化或弱磁性片狀樣品可以直接送樣）； 在制樣過程中容易快速潮解的樣品；真空條件下可以釋放大量氣體，尤其釋放出的氣體對不銹鋼具有腐蝕性的樣品，比如可以釋放出HCl+H2O；有化學毒性和生物毒性的樣品；在X光照射下會分解的樣品。另外， 含有F和I元素的樣品需要和測試老師事先溝通以確認是否可以送樣。
- 樣品物性/外形/尺寸 (1)導體、半導體和絕緣體均可以； (2)對絕緣體和半導體一般只適合粉末、薄膜、薄片（樣品厚度1 mm以內）， 不適合塊體； (3)粉末樣品要求顆粒越細越好； (4)對于導體塊狀（不規則形狀時）樣品，需要送樣人將樣品加工成片狀，上下面互為平行面； (5)特殊樣品形狀，例如，纖維、大顆粒、小圓棒（尺寸大小在微米到幾個毫米之間），可以直接送樣。
- 樣品用量： (1)粉末、大顆粒、小圓棒：體積大于0.2 mL；如果需要壓片時（有利于做定量分析），送樣量(體積)應適當增加到0.75-1 mL； (2)薄膜及片狀樣品：長×寬在~6 mm × 6 mm以內，厚度不大于1 mm； (3)塊體： 長×寬 在~6 mm × 6 mm以內；厚度不大于3 mm； (4)注意： UPS的樣品需要尺寸大一點，長寬在12 mm × 6 mm左右，厚度不高于1.5 mm； (5)變角和深度剖析的樣品，長寬在12 mm × 12 mm左右，厚度都不高于3 mm。
- 送樣時注意事項： (1)送樣品時請附上打印的預約單，所有樣品在送樣之前必須提前進行真空干燥或者冷凍干燥，粉末樣品必須研磨均勻； (2)樣品中不得含有乙酸乙酯、氯仿、二氯甲烷、苯、環己烷、DMSO等有機試劑, 待測試的樣品表面不能被沾污（如手摸拿，碰觸污染物等）； (3)易被氧化或易吸水樣品，在送樣過程中應注意隔離空氣（如放保干器， 或高純Ar氣袋 ），或事先與我們聯系，商量解決辦法； (4)用帶蓋的玻璃小試管、小容量瓶等容器裝樣；不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的膠帶或膠面和紙袋，以免硅樹脂或纖維污染樣品表面。也可以使用干凈的鋁箔直接包裹樣品后放入干凈的玻璃器皿中送樣； (5)如果高分子材料中含有殘余的揮發性有機試劑分子或小分子單體，務必先行在真空烘箱中抽除這些物質。如果樣品置入XPS預抽真空腔體內，經過一夜抽真空后依然無法抽至5×10E-7torr以下，該樣品的測試將被取消； (6)對薄膜、片狀、塊體樣品標記出測試面；千萬注意：不能使用墨水筆在樣品上標記測試面，以免墨水中的有機試劑污染待測樣品表面！！！；對于金屬，半導體，高分子材料片狀或者塊狀樣品，建議使用刀片或金剛石刻刀在不測的一面畫＂＋＂字； 另外，樣品袋上要用標簽紙標上預約人姓名； (7)寫明分析測試的要求，如定性（元素種類，元素價態等），定量（樣品中元素相對百分含量）等。如果樣品有易磁化，易變性（如被氧化，吸附等）等情況應說明清楚； (8)復雜測試時，初次實驗需要決定分析條件情況，送樣者若能到場，可能有助于測試的進行。
儀器說明
- AXIS Ultra DLD（日本島津Kratos公司）多功能X射線光電子能譜儀可以提供有關固體表面和界面的化學信息。可以分析除氫、氦以外的所有元素，包括元素種類及價態。并可以提供測定元素相對含量的半定量分析。
- 廣泛應用于研究聚合物、無機化合物、有機化合物、催化劑、涂層材料、納米材料、礦石等各種材料。結合其它表征技術，可以對腐蝕、摩擦、潤滑、燃燒、粘接、催化、包覆、氧化等過程進行研究。有特色的是XPS可以測定元素的化學價態及化學環境的影響。
- 通過角分辨法及Ar離子剝離法可以提供元素深度分布信息。 主要用于固體樣品表面的組成，能進行定性、半定量分析。該儀器已對上海交通大學的材料科學與工程學院、化學化工學院、物理與天文系、機械與動力工程學院、電子信息與電氣工程學院、微納科學技術研究院、生命科學技術學院，農業與生物學院，藥學院，密西根學院及多家校外企事業單位提供了測試服務。
- 該儀器在分析表面化學上的技術優勢，為上海交大在涂層材料、納米材料、催化劑、礦石材料學、醫藥等領域的研究提供了一定的分析檢測的技術支持。
