等離子廢氣凈化設備采用低溫等離子體技術（DDBD)，低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些 電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
等離子體技術是一個集物理學、化學、生物學和環境于一體的交叉綜合性技術，該技術顯著特點是對污染物兼具物理效應、化學效應和生物效應，且有能耗低、、無二次污染等明顯優點。
其凈化作用機理包含兩個方面：一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間 足夠打開一些氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或分子；二是等離子體中包含大量的 電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得氣體分子。同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性的O3，與氣體分子發生化學反應，終生成產物。
等離子體中的 電子可使電負性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負離子，它具有許多良好的健康效應，對人體及其他生物的生命活動有著重要的影響，被人們譽為“空氣維生素”、“長壽素”。
等離子體的凈化作用還具備顯著的生物效應。發生的靜電作用在各種、病毒等微生物表面產生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此低溫等離子體除臭技術具有之功效。
以上所述顯示，低溫等離子體技術不僅可以凈化空氣，同時還可以，從而使空氣維持在自然、清新的狀態。這是其他任何技術方法所的。
