半導(dǎo)體超純水說(shuō)明
n 產(chǎn)品介紹：
EX-UPW-TOC產(chǎn)品系列是一款適用于純水（UPW）制備中對(duì)總有機(jī)碳（TOC）進(jìn)行降解的先進(jìn)可靠系統(tǒng)。通過(guò)更高185nm穿透率、實(shí)時(shí)在線的紫外線強(qiáng)度監(jiān)測(cè)、本地/遠(yuǎn)程的智能控制，實(shí)現(xiàn)高效、安全可控的總有機(jī)碳（TOC）降解。該設(shè)備在超純水制備工藝中，可使純水TOC降至1ppb以下。
n 主要優(yōu)勢(shì)：
2 安全可控
真空級(jí)平行光束儀進(jìn)行理論安全劑量指導(dǎo)設(shè)計(jì)，足夠紫外線劑量實(shí)時(shí)輸出可調(diào)，系統(tǒng)智能自控。
2 更高去除效率
更高純石英玻璃，系統(tǒng)185nm紫外線強(qiáng)度輸出較傳統(tǒng)產(chǎn)品提高50%以上。
2 CFD流體模擬
進(jìn)行細(xì)節(jié)模擬設(shè)計(jì)，提高處理效率
2 性能穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)便
本地與遠(yuǎn)程控制，配備PLC、觸摸屏，紫外強(qiáng)度實(shí)時(shí)顯示及預(yù)警
2 先進(jìn)的加工工藝
采用先進(jìn)設(shè)備、工藝加工，反應(yīng)器內(nèi)外電解拋光，Ra<0.2
2 多形式選擇
滿足現(xiàn)場(chǎng)多樣化安裝形式，產(chǎn)品可選擇成套撬裝，占地面積小
半導(dǎo)體超純水產(chǎn)品規(guī)格：
處理水量 | 2~60m3/h |
燈管配置 | 12~48支 |
燈管類型 | 85w/155w(185/254nm雙波段) |
石英套管 | T＞80%@185nm |
鎮(zhèn)流器 | 50~100%輸出功率可調(diào) |
反應(yīng)器材質(zhì) | 316L |
潔凈等級(jí) | 內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2） |
法蘭尺寸 | DN50~DN200 |
額定壓力 | PN10 |
控制柜等級(jí) | IP55，碳鋼噴塑 |
控制系統(tǒng) | 本地/遠(yuǎn)程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng) |
UV強(qiáng)度傳感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
半導(dǎo)體超純水說(shuō)明應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路板
2. 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗
3. 電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
4. 黑白顯像管熒光屏的生產(chǎn)、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗
5. 液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面清洗
6. 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片
7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產(chǎn)
