半導體清洗污水處理設備
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半導體清洗廢水處理設備主要采取的處理工藝:
二次反應一級凝固十一級沉淀,系統流出離子濃度基本滿足L要求。如果增加次沉淀,作為第二反應沉淀次反應沉淀的第二階段沉淀反應,系統流出離子濃度可以控制在10毫克。
濃氨不脫吸收工藝-含溴廢水的第二階段沉淀工藝(含溴廢水和CMP研磨廢水混合處理)-三級酸堿和處理工藝。
直接投入二級反應組、酸堿原液,運行水不穩定,藥劑消耗大。
反沖洗過濾器是利用過濾器直接攔截水中雜質,去除水體懸浮物、顆粒物,降低濁度,凈化水質,減少系統污垢、菌藻、腐蝕等,凈化水質,恒沃創科系統其他設備正常運行的設備。反沖洗過濾器處理的水質不僅達到國家規定的廢水排放標準,反沖洗過濾器處理的水源還可以重復使用,可以回收利用,從而節約水資源。
在半導體制造技術中,通過一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導體芯片,然后將所述半導體芯片進行封裝和電性測試,并最終形成終端產品。
目前,在半導體芯片的制造過程中,會產生大量的工業廢水且芯片制造生產工藝復雜,包括硅片清洗、化學氣相沉積、刻蝕等工序反復交叉,生產中使用了大量的化學試劑如HF、H2SO4、NH3・H2O等。所以一般芯片制造廢水處理系統有含氨廢水處理系統+含氟廢水處理系統+CMP。
在現有的廢水處理過程中,通常單獨使用序列間歇式活性污泥法(SBR)或生物接觸氧化法或曝氣生物濾池(BAF),均只能對廢水進行單一的處理,例如為過濾或微生物反應或去除毒性等,由于處理方式過于單一,這常常導致過濾物質很快堵塞的問題。因此,廢水處理仍有改善的空間。
半導體清洗廢水主要來自硅清洗、半導體零部件、零部件清洗、電鍍、酸洗等工藝。上述廢水的主要特征是高氨氮、高磷、含氟、含重金屬等。
針對半導體集成電路部件生產產生的電鍍廢水、酸堿廢水,研究流量控制、藥劑用量、反應攪拌強度,提出合理的處理工藝,確保廢水處理符合排放標準。
半導體清洗污水處理設備