等離子廢氣凈化器采用結構設計，占地小，重量輕，能耗少，。等離子廢氣凈化器采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對廢氣分子進行氧化還原反應，將廢氣中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。
等離子廢氣凈化器利用催化氧化劑的強氧化性和高吸附性，持續地對等離子體未處理盡的污染物和生成的物質進行催化氧化反應，使廢氣經多級凈化后終達標排放。
等離子體被稱為物質第4形態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體氣體凈化器是利用等離子體。以每秒800萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，去、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，再經過多級凈化，將物轉化為潔凈的空氣釋放至大自然。
等離子廢氣凈化器工作原理是采用高壓發生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子物質，使廢氣 凈化。
在處理過程中，當氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室(PRC)。反應室分成149根六邊形管子，每根管子的中間有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節高壓，高壓導通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產生放電現象。
一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。
同時注入環境或者二級氣體來優化反應室的濕度和溫度登記，與此同時加入離子來 反應室內的反應。這種冷離子體處理方法使氣體在低溫下進行“氧化”。
