序號

品名

型號

數量

品牌

生產廠家

產地

1

勻膠機

KW-4T

1

中科院

中科院微電子所

中國

2

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序號

項目名稱

詳細參數

1

主要應用

廣泛應用于半導體，集成電路，材料，微光學，生命科學，凝聚態物理，化學等科學研究與生產，可用于硅片/載玻片/化合物鏡片/ITO/導電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆。

2

主要特點技術規格

1.轉速 300-9000 RPM

2.轉速穩定性  1RPM

3.旋涂均勻性  <1%（片內）；<1%（片間）

4.基片尺寸 Φ5-Φ100mm圓片，100mm×100mm方片

5.程序控制 全觸摸屏操作，快速啟動，人性化界面，6步工藝調速設計，0-1800s時間可調，6.專業用戶的的需求

7.整機尺寸 280×220×160（mm)

8.工藝支持 依托中科院微電子所工藝平臺，提供微納加工工藝支持

9.適應材料 適合硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP等各種材料，工藝服務

10.特殊夾具定制   20年特殊夾具設計經驗，匹配超薄、異形、脆性易碎樣品

11.電機功率   40W

3

真空泵

型號：KW-550A/T   抽速：>1.5升/秒  功率：300W    噪音：55db    電壓：220v/50Hz 真空度：-700mmHg 重量：7.3Kg 外形尺寸（mm):250*130*225

4

基本配置

主機（電源線、說明書、3種樣品片托） + 真空系統（電源線、8mm氣管2.5米+消音器+說明書）