英國Denton 磁控濺射及電子束蒸發(fā)薄膜沉積平臺
DENTON 薄膜沉積平臺
?R & D
?批量生產
?在線生產
?蒸發(fā)
?濺射
?PE-CVD
DENTON 的區(qū)別
你們的過程就是我們的過程。
我們與您合作設計一個系統(tǒng),以解決您的確切薄膜涂裝工藝的需要。當我們給你運送工具時,它已經準備好生產了。
?我們的系統(tǒng)規(guī)模可以滿足您的生產需求
?我們永遠相信客戶
?支持網絡
在DENTON,我們關心你的成功
?工廠驗收測試
?個性化培訓
?遠程、實時支持
?CE / UL / CSA兼容系統(tǒng)
強大的控制系統(tǒng):
可在半手動模式或全自動模式與一個推動自動化,以減少系統(tǒng)停機時間。
能濺射:
電、磁、復合材料。柔性陰極,調整到沖擊角也可用
Processpro升級提供
1.所有登頓真空產品的一致性控制。
2.標準軟件使其易于支持和避免昂貴的定制費用。
3.源代碼為您的程序,以便您可以自定義您的程序。
4.網絡功能使資源管理器
網絡上支持實時、遠程支持和升級的節(jié)點
靈活的室大小;
可容納多達10英寸的襯底。
多個泵配置:
多種擴散、低溫和渦輪泵配置可用于滿足您的預算和工藝。后方或底部安裝的泵提供方便的訪問服務,根據您的工作場所的需要。
濺射:
?材料研究
?產品質量控制和質量保證
?半導體失效分析
?CD掌握
?納米技術
?化合物半導體
?oled
蒸發(fā):
?材料研究
?離子輔助沉積(IAD)
?醫(yī)療設備
?電信
?CD掌握
?發(fā)射
?保護涂層
選項
典型的應用:
PE-CVD
?材料研究
?小批處理系統(tǒng)
?3 d對象
?覆蓋各種材料