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DYX-420SY全自動勻膠機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱三河建華高科有限責任公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/12 17:54:22
  • 訪問次數209
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三河建華高科有限責任公司成立于2003年6月13日,是隸屬公司地四十五研究所的國有控股公司。公司地處北京東燕郊經濟技術開發區海油大街253號,占地100畝;公司現有總資產1.668億元,資產負債率0.4%,銀行信用等級AA+。三河建華高科有限責任公司以打造“中國半導體制造設備的者”為目標,致力于半導體元器件材料加工和芯片制造及檢測專用設備的研究開發與生產制造,傾力建設華北地區高精密機械、光學、電氣零部件制造中心。公司現有職工230余人,其中各類技術人員60余人,高級技術職稱30余人,高級技能以上人才70余人。先后榮獲了國家科技型中小企業、河北省企業、科技小巨人、工業企業研發機構、廊坊市研發平臺、廊坊市企業技術中心、廊坊市專用設備及精密零部件制造研發中心等多項榮譽。經過多年的科學運作和生產經營,公司規模逐步壯大,每年的銷售收入呈逐年增長的態勢,公司固定資產處于增值的良好狀態。
切片機
該設備為星型全自動勻膠設備,主要應用于4″或5″晶圓涂膠、預烘工藝
DYX-420SY全自動勻膠機 產品信息

該設備為星型全自動勻膠設備,主要應用于4″或5″晶圓涂膠、預烘工藝。采用標準片盒收放片,工藝過程單片處理,自動運行,主要適用于分立器件、功率器件等領域。

主要技術特點

傳輸機構

傳輸機構采用機械手進行晶圓的承載及傳輸,性能穩定,對晶圓背面污染小。

勻膠單元

采用不銹鋼勻膠腔體,中空軸伺服電機,具有密閉腔蓋,保證勻膠過程中不產生膠絲。

熱板單元

采用硬質陽極氧化熱盤,受熱均勻,易于擦拭。

主要技術指標

晶圓尺寸:4″、5″

上/下片單元數量:4個(兩個上片、兩個下片)

手指數量:2個

膠腔數量:2個

主軸轉速:0~5000rpm,:5000rpm

轉速精度:±2rpm (50~5000rpm)

光刻膠供給量(Teflon吐出泵):1~10ml

光刻膠供給精度:±0.1ml

光刻膠粘度:≤500Cp

熱板數量:4個

溫度范圍:室溫~180℃±1℃(可設置)

最小調整量:0.1℃

溫度均勻性:±2℃@50℃~100℃、±3℃@100.1℃~180℃

外形尺寸:L1400mm×W1200mm×H1800mm

重量:800Kg

關鍵詞:伺服電機
15700106413
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