該設備為手動上下片,自動滴膠設備,可完成勻膠后烘焙工藝。適用5″標準晶圓,主要應用于分立器件、功率器件等行業(yè)。
主要技術(shù)特點
勻膠單元
采用不銹鋼勻膠腔體,中空軸伺服電機,具有密閉腔蓋,保證勻膠過程中不產(chǎn)生膠絲。
熱板單元
升溫快、烘焙效果好,具有條形凸起,方便人工取放。
膠泵單元
光刻膠采用精密膠泵供給,精度高,供液穩(wěn)定可靠。
主要技術(shù)指標
晶圓尺寸:5″
膠腔數(shù)量:3個
膠腔材質(zhì):不銹鋼
主軸轉(zhuǎn)速:0~5000rpm,:5000rpm
轉(zhuǎn)速精度:±2rpm (50~5000rpm)
光刻膠供給量(Teflon吐出泵):1~10ml
光刻膠供給精度:±0.1ml
光刻膠粘度:≤500Cp
熱板數(shù)量:1個
溫度范圍:50~150℃
外形尺寸:L1500mm×W1000mm×H1800mm
重量:400Kg