半導體功率器件質量提升強大專家技術團隊服務背景
功率半導體器件在生產和使用過程中往往受到各種應力和環(huán)境因素的影響,達不到預期的壽命或功能,即發(fā)生失效現象。失效分析是一門新興發(fā)展中的學科,在提高產品質量,技術開發(fā)、改進,產品修復及仲裁失效事故等方面具有很強的實際意義。
半導體功率器件質量提升強大專家技術團隊服務內容
一、半導體功率器件失效分析流程
1、失效信息背景調查,充分了解器件失效現象(不工作/導致上下端工作異常)、失效比例(偶然/集中一批)、使用環(huán)境(戶外/海邊/高海拔等)、失效發(fā)生階段(新產品/成熟產品)、工藝材料變更信息,這些都會有助于快速鎖定問題根源。
2、制定失效分析方案,根據提供背景信息結合技術經驗,制定有針對性的分析方案可以降低失效分析成本,加快失效分析進度,提高失效分析成功率。同時對各種可能的原因準備相應的處理措施。(制定的方案不會是一成不變的,實際分析項目會根據新發(fā)現的現象和分析結果及時調整)
3、通過各種非破壞、半破壞、破壞性試驗確定失效位置,這里需要高超的制樣技巧和設備精度,目的是限度地防止把被分析器件的真正失效因素、跡象丟失或引入新的失效因素,以期得到客觀的分析結論。
4、根據失效位置形貌、元素成份、物理結構,結合失效背景、技術經驗,推斷導致失效可能原因,并逐個排查最終找到失效根因形成邏輯閉環(huán)。
5、預防與改進措施建議,客戶往往忽略這一點,根據失效原因進行重現及提出改進措施(更優(yōu)原材料、優(yōu)化工藝參數、器件結構改進、更合理的測試方法及條件、更嚴格的質量監(jiān)控等)最終關閉此問題點。
二、功率半導體器件失效分析常見測試內容
1、電學性能:IF、UR、IR,VSD、IDSS、BVDSS、IGSS、VGS(TH)、RDS(ON)、VDS(ON),RG、CIES、COES,Td(ON)、Tr、Td(OFF)、Tf、EON、EOFF、Trr、Qrr、Irrm、QG,Rth(j-c)等靜態(tài)、動態(tài)參數
2、塑封料:注塑工藝評價、缺陷查找、膠水基材種類、有無污染物、氣泡,氣密性評估、膠水耐熱性、ESD元素分析、FTIR紅外光譜分析
3、粘結料涂覆及固晶制程:粘結料涂覆工藝評價、缺陷查找、成份分析、空洞率、厚度,固晶工藝評價、頂針痕、吸嘴印、芯片平整度、污染物檢測、鈍化層損傷
4、芯片:工藝觀察、清潔度檢查、耐壓環(huán)及元胞微觀結構測量、缺陷定位、缺陷暴露、抗靜電能力檢測
5、引線鍵合:工藝評價、一焊和二焊形貌觀測、鍵合接觸面微觀形貌觀測、鍵合IMC健康檢測、弧形弧高測量、鍵合線直徑測量、成份鑒定、PAD成份結構觀測
6、引線框架:引線框架(含DBC等各種材質)涂鍍層厚度測量、成份檢測、工藝評價、缺陷查找、變色變粗糙等老化原因分析。
我們的優(yōu)勢
廣電計量經過在功率半導體器件方面數年積累,形成了博士7人、碩士13人的專業(yè)人才團隊,各方面研究方向同步業(yè)內研究進展,多套設備(靜態(tài)/動態(tài)參數測試:B1505A、B1506A、SW8200A等,物理分析:T3Ster、DB FIB、FE SEM、InGaAs、ORBICH、Thermal Emmi等)??梢詮牟牧辖嵌取⒐に囍瞥探嵌?、使用存儲環(huán)境角度查找缺陷,定位失效點,從而找出失效的原因,并針對失效原因提出可行的改善建議。通過承接大量客戶新產品驗證、AEC-Q車規(guī)認證等各種可靠性試驗后器件失效案例分析,積累了豐富的各種應力導致的失效模式、失效機理數據庫材料,同時積累了豐富的器件結構經驗、熟練的制樣經驗,可以快速準確為您判定失效根因。