CYG511型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學研究中，風洞中試驗模型表面壓力場分布設(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。它極薄的專用柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。
CYG511的壓力敏感元件采用*的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有超薄的厚度。它綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.6mm，更有利于獲得更薄最終尺寸的薄形傳感器。
CYG511為絕壓測量模式，標準壓力量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa。
CYG511外形為薄圓扣式。標稱直徑為ф8 mm，厚度為2.2 mm，引出線為5線柔性電線，長度為1m，在1m終點處接有用PCB板制成的電橋補償平衡器，柔性電線的厚度為0.15 mm，寬度為4 mm。
CYG511由于用敏感元件正面承壓，因此它適用于無腐蝕性，不導電性的干燥氣體。它有相當寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復雜，含水量高，可使用復蓋有有機硅凝膠保護表面及電極的CYG511S（有機硅凝膠會降低其動態(tài)頻響性能）。采用薄膜有機材料覆蓋保護的產(chǎn)品CYG511P，由于保護膜厚度為um量級，對動態(tài)頻響損失較少，特制周期較長及有較多的成本增加。
1、性能指標參數(shù)：
| 指標/檔級 | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、滿量程輸出： 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、輸入輸出阻抗：最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、輸入工作電流：1mA（恒流源）
5、工作溫度范圍：-55℃～+120℃
6、補償溫度范圍：-10℃～+80℃
7、過載能力： 額定量程的200%
8、加速度靈敏度：＜0.001%FS/g
9、外形尺寸圖：
