服務(wù)行業(yè)及治理方式:
污染物
| 來(lái)源 | 引發(fā)問(wèn)題 | 解決方案 |
粉塵,酸性、堿性氣體
| 空氣 | 集成電路斷路、短路 | 化學(xué)過(guò)濾器+高效過(guò)濾器/FFU |
NH3
| 空氣 | 光學(xué)鏡片霧化 | 化學(xué)過(guò)濾器+FFU |
NH3,NMP
| 外氣 | “T-top“現(xiàn)象 | 化學(xué)過(guò)濾器 |
丙酮、異丙醇等有機(jī)溶劑廢氣
| 清洗、刻蝕工序 | 環(huán)境污染 | 高效/超高效過(guò)濾器 |