泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI簡介
Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸,并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件,半導體器件,光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI技術參數
類型: CCI 干涉(相干相關干涉)
分辨率: 0.1 A
測量點數: 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI主要特點
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI技術參數
類型: CCI 干涉(相干相關干涉)
分辨率: 0.1 A
測量點數: 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
泰勒白光干涉表面輪廓儀Talysurf CCI主要特點
- 相干相關算法
- 0.01nm分辨率
- 10-20秒測量時間
- RMS重復性:0.03A