主要用途
半導體制造裝置的溫度管理
主要特點
溫度范圍廣，溫控精度±0.5℃
溫度控制范圍-10℃～+70℃，制冷器連續運轉、通過控制加熱器進行溫度調節，實現高精度、高穩定性的恒溫水循環。
齊全的信號系統和安全裝置
可遠程溫度設定和溫度監視，齊全的安全裝置可實現操作信號的輸出。
高溫冷卻功能
在使用溫度范圍內，由于冷凍機的連續運轉，可實現高溫冷卻功能。
所謂高溫冷卻：例如冷卻對象需要溫度維持在+80℃，但回流的循環液溫高于+80℃，此時就需要通過本機進行高溫冷卻使循環液溫降到+80℃在流入冷卻對象。
技術參數
| 型號 | CH-802BF |
| 使用溫度范圍 | ＋10℃～＋70℃（使用環境溫度范圍+5℃～+35℃）(*1) |
| 溫度調節精度 | 加熱器PID控制、±0.5℃(*2) |
| 冷卻能力(50Hz時) | 約1.9kW(*3) |
| 冷凍機功率 | 水冷式、750W |
| 加熱器功率 | 3kW |
| 溫度設定?表示 | 數顯式(設定溫度/槽內溫度切換顯示) |
| 安全器／安全功能 | 漏電/過電流斷路器、高低溫、冷凍機異常報警、泵異常運轉報警、溫度傳感器異常診斷、液體補充警報、防止空燒、反相繼電器 |
| 其他功能 | 溫度監測器、遠程溫度設定、安全器啟動信號燈、外部溫度傳感器(*4) |
| 水槽容量（80%水位) | 約26L(*5) |
| 適用的泵 | P-32E、P-42、P-42 SUS仕様 |
| 所要一次冷卻水量 | +25℃的冷卻水：7.5L/mim +34℃的冷卻水：18L/min |
| 一次冷卻水連接口徑 | Rc1/2 |
| 外形尺寸(水泵) | 407×590×771Hmm |
| 重量(水泵) | 約90kg |
| 電源(水泵) | 三相AC200V?50/60Hz 15A |
| 運轉電流(水泵) | 14A |
| 標準附件 | 電源線、排水用橡膠軟管、信號連接器 |
(*2)使用熱載體、使用環境溫度、熱負荷循環配管距離等因素可能會影響溫度性能的維持。
(*3)數據為使用清水做為循環液且液溫在+10℃、裝置單機時的冷卻能力。根據所搭載的泵的不同，冷卻能力也會有變動。另外當使用環境溫度達到+30℃時冷卻能力會下降。
(*4)外部溫度傳感器需另購，敬請注意（φ4x250mm）。
(*5)本機為非封閉式構造，因設定溫度、熱載體種類不同，會發生使用液體會有蒸發、減少現象。
