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otsukael分光橢偏儀旋轉分析器膜厚計紫外光譜儀

參考價	￥ 220000
訂貨量	≥100臺

具體成交價以合同協議為準

公司名稱深圳九州工業品有限公司
品牌其他品牌
型號FE-5000/50
所在地深圳市
廠商性質經銷商
更新時間2023/4/14 16:23:27
訪問次數819

產品標簽:

分光橢偏儀旋轉分析器膜厚計儀器簡易設定

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深圳九州工業品有限公司，坐落于深圳市，是一家工業品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產品、儀器儀表、工業器材的銷售及其它國內貿易、經營進出口等業務。搭建工業品供應鏈，采用與 MRO分銷商結盟的方式，把零散采購訂單集中處理，流程簡化，提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建專業國際采購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各類高品質的工業產品和優質的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國外生產廠家建立了長久合作伙伴關系。

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設備

產品簡介在線詢價

產地	國產

otsukael分光橢偏儀旋轉分析器膜厚計FE-5000/5000S的介紹

除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

otsukael分光橢偏儀旋轉分析器膜厚計紫外光譜儀產品信息

otsukael分光橢偏儀旋轉分析器膜厚計FE-5000/5000S的介紹

除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

特征

可在紫外-可見（300 至 800 nm）波長范圍內測量橢圓參數
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
通過創建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性

測量項目

橢圓參數（tanψ，cosΔ）測量
光學常數（n：折射率，k：消光系數）分析
膜厚分析

測量對象

半導體ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO₂，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al₂O₃，SiN_xO_y，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光學定數(波長分散)
化合物半導體
Al_xGa_(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜
光學薄膜
TiO₂，SiO₂，反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価