TX300勻膠機(jī)Spin Coater 旋涂?jī)x 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)
1. 可設(shè)定存儲(chǔ)26個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。
2. 每個(gè)涂敷工藝過程可以設(shè)置100步不同的速度狀態(tài);
運(yùn)行過程可以暫停,重復(fù)啟動(dòng)。
循環(huán)轉(zhuǎn)移:次數(shù):2的16次方= 65536次。
(用途:工藝過程重復(fù)部分的設(shè)定)
3. 可以控制加速度
4. 端跳 1mm的±2.5%
5. 32位工業(yè)計(jì)算機(jī)芯片組控制。
7英寸觸摸屏顯示,設(shè)定,控制。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:TX300勻膠機(jī)spincoater旋涂?jī)x
主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。
適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。
可在科研,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。
沈陽市司樂機(jī)器制造廠 自主設(shè)計(jì)制造
"spin coater " 行業(yè)稱:勻膠機(jī) 勻膠臺(tái) 甩膠機(jī)、旋涂?jī)x 旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) 旋涂機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):
TX300勻膠機(jī)spincoater旋涂?jī)x
工作腔內(nèi)徑D300mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。
沈陽陽市司樂機(jī)器制造廠 自主設(shè)計(jì)制造
主要特點(diǎn):
*高精度26程序控制器:
可設(shè)定存儲(chǔ)26個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程;
每個(gè)涂敷工藝過程可以設(shè)置100步不同的速度狀態(tài);
加速度(及負(fù)加速度),可設(shè)置。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調(diào)試并存儲(chǔ)程序。
設(shè)置程序:國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)通用符號(hào),人機(jī)交互式對(duì)話,提示操作。
無需培訓(xùn),上手就會(huì)操作。
*可連接滴膠機(jī),自動(dòng)控制在必要的瞬間滴膠,自動(dòng)控制重復(fù)定量滴膠。
精準(zhǔn)的重復(fù)的自動(dòng)控制操作,是人工不可能及的。
*工作腔可氮?dú)獗Wo(hù)。
我們?cè)O(shè)備通過有效的惰性氣體保護(hù)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),對(duì)所有的環(huán)境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,
這一點(diǎn)針對(duì)科研實(shí)驗(yàn)的苛刻要求而開發(fā)。
*真空吸片,爪卡機(jī)構(gòu)。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機(jī)構(gòu)工作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*中心結(jié)構(gòu)定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。
主機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配備一片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*卡盤,吸盤品種豐富,適應(yīng)各種需要。
*真空吸片系統(tǒng)更安全:
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)真空度,必須在安全的真空度下,
電機(jī)啟動(dòng),運(yùn)行。保障可靠吸片,不飛片。運(yùn)行中失去真空,系統(tǒng)保護(hù)性停機(jī)。
*伺服電機(jī),轉(zhuǎn)速精度更高:300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 % 轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*設(shè)備所用的天然聚丙烯(NPP)材質(zhì),食品級(jí)衛(wèi)生材料,易清潔,材質(zhì)性能穩(wěn)定,綠色環(huán)保型實(shí)驗(yàn)室的。
技術(shù)參數(shù):
單相交流電源:220V.50Hz
電機(jī)功率:200W
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時(shí)間:1---9999秒。
標(biāo)準(zhǔn)包裝:尺寸: 490mm寬 x 380mm深 x 310 mm高 ,
中心定位原理
中心定位
利用中心定位板,將基片在機(jī)器轉(zhuǎn)軸中心定位。
利用中心定位板,將基片在機(jī)器轉(zhuǎn)軸中心定位。
中心定位板的孔位可以完成4,6,8,10英寸基片定位。完成勻膠。