ulvac-kiko 真空泵 低溫泵CRYO-U6H
ulvac-kiko 真空泵 低溫泵CRYO-U6H
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。
特點
輕量?緊湊、標準尺寸最小的泵
適用于實驗室和研究室的小型真空設備。
可以多臺運行（最多3臺）
可以達到超高真空（10-8Pa以下）
膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結構采用無油環境設計、因此維護簡單。
根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。
特點
價格低廉，銷售量多的標準型干式真空泵。
氣體接觸區域不使用油的干式真空泵。
豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。
單級排氣系統比兩級排氣系統更快。
具有鎖定保護和過流保護功能等安全設計。
大氣壓下可以運作。
用途
真空吸盤，晶圓和處理設備。
真空鑷子，醫療器械。
印刷設備。
自動包裝機。
光學器具。
半導體行業。
注塑機。
膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結構采用無油環境設計、因此維護簡單。
根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計
特點
價格低廉，銷售量多的標準型干式真空泵。
氣體接觸區域不使用油的干式真空泵。
豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。
兩級排氣系統與單級排氣系統相比具有更低的壓力（良好的真空）。
內置自動復位型熱保護器等安全設計。
大氣壓力下可運作。
結構簡單，維護方便。
Unit 50Hz 60Hz 有效排氣速度L/min 120 145 極限壓力Pa (kPa) 3.3×10 3 （-98.0） 使用電動機単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run 全負荷電流A 4.8 5.8 重量kg 26.0 吸?排氣口徑mm ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2) 使用環境溫度范圍℃ 0～40 最大尺寸mm 193.5(W)×411(L)×285(H)
