激光清洗技術是指利用高能激光束照射工件表面,使表面的污物、銹斑或涂層發生瞬間蒸發或剝離,高速有效地清除清潔對象表面附著物或表面涂層,從而達到潔凈的工藝過程。它是基于激光與物質相互作用效應的一項新技術,與傳統的機械清洗法、化學清洗法和超聲波清洗法(濕清洗工藝)不同、它不需要任何破壞臭氧層的CFC類有機溶劑,無污染,無噪聲,對人體和環境無害,是一種“綠色”清洗技術。
激光清洗與機械磨擦清洗、化學腐蝕清洗、液體固體強力沖擊清洗、高頻超聲清洗等傳統清洗方法相比,有明顯的優點。它高效、快捷、成本低,對基片產生的熱負荷和機械負荷小,清洗為非損傷;廢物可回收,無環境污染;安全可靠,不損害操作人員健康;可以清除各種不同厚度、不同成份的涂層;清潔過程易于實現自動化控制,實現遠距離遙控清洗等。
項目 | 參數 |
激光平均功率 | 100-1000 W |
激光器類型 | 光纖激光器 |
功率調節范圍(%) | 10-100(漸變可調) |
聚焦光斑直徑(mm) | 0.08/0.06 |
激光波長(nm) | 1064 |
重復頻率(KHz) | 10-50(漸變可調) |
單脈沖能量(mJ) | 10.00 |
峰值功率值(KW) | 100 |
光斑直徑(mm) | 6-7 |
脈沖強度(Watt/m2) | 0.10 |
清洗效率(m3/h) | 5 |
焦距(mm) | 210/160可更換 |
冷卻方式 | 風冷/水冷 |