一、概述
VAIS-PMT是世界上的與隔音罩集成的氣動主動隔振器.納米測量儀器不僅容易受到地板結構振動的影響，而且容易受到聲振和氣流的影響。VAIS-PMT的主動防振系統和隔音屏蔽系統有效地消除了這些因素.
VAIS-PMT采用氣動主動抗振動框架，可提供穩定的振動環境，以對抗甚至非周期的脈沖振動輸入。隔音罩采用多層隔音墻，阻擋空調設備附近的氣流和噪音。
二、規格
1）高阻尼氣動支架
采用高阻尼氣動支撐架，VAIS-PMT對非周期沖擊振動具有良好的穩定性.
2）Floor Feed-forward控制
利用反饋和地面前饋控制，AVIS-PMT具有良好的抗低頻振動力，是被動防振系統中常見的問題。
3）LED狀態指示器
前面板上有三盞LED燈(紅色、綠色、藍色)，方便地告知用戶振動環境的變化和可見性。
4）遠程支持
通過遠程控制，vis-pmt提供了的控制參數，并在無工程師病毒感染的情況下檢查異常。
5）多層墻隔音罩
6層壁面結構的隔音罩，能很好地消除氣流和聲噪聲對空氣傳播的干擾
| 標準尺寸 | 610(W) x 730(L)x 895(H) [mm] |
| 平臺類型 | 花崗巖(標準)/光學面包板(選項) |
| <> | 0~150kg (標準) |
| 支撐架 | 氣動(壓縮空氣)彈簧 |
| 控制的自由度 | 3軸6自由度(全主動系統) |
| 控制范圍 | 0.5 ~ 1000 нz |
| 控制類型 | Feedback & Floor Feed-Forward Control |
| 氣壓 | 超過 0.5MPa |
| 電源 | AC 90~230V/50~60Hz |
三、性能
1）主動隔振框架的隔振性能
| 共振范圍(>1Hz) | 不存在 |
| 頻域的隔離效果 | |
| 2Hz | -10dB(60%隔離度) |
| 5Hz | -30dB(85%隔離度) |
| 10Hz | 40dB(99%隔離度) |
| 20Hz~ | -40dB(99%隔離度) |
2）隔音罩的噪聲隔離性能
| 頻率 | 降噪 | 頻率 | 降噪 |
| 63Hz | 14dB | 1000Hz | 41dB |
| 125Hz | 28dB | 2000Hz | 41dB |
| 250Hz | 29dB | 4000Hz | 42dB |
| 500Hz | 32dB | 8000Hz | 44dB |
四、應用展示
1. 應用指南
(1)結構噪聲(振動)具有較長的波長和較強的能量，因此對其進行隔離顯得尤為重要。
(2)空氣傳播振動和聲振動(噪聲)將較小的能量傳輸到目標儀器時，直接傳輸到顯微鏡的測量點，對顯微鏡圖像產生很大的畸變。
來自附近暖通空調系統的氣流對顯微鏡也有很大的影響。
(3)單手防止地板振動、空氣噪聲和氣流，達到的納米尺度測量。
VAIS-PMT for BRUKER Dimension FastScan
VAIS-PMT for BRUKER Dimension Icon
VAIS-PMT for BRUKER MultiMode8
VAIS-PMT for BRUKER-JPK Bio-AFM
2. 可配套使用的儀器
（1）原子力顯微鏡
（2）掃描探針顯微鏡
（3）三維表面測量系統
（4）高精度光學顯微鏡
（5）納米壓痕系統
（6）納米測量/分析儀器
