低溫等離子體技術是近年發展起來的廢氣處理，低溫等離子體處理廢氣的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。

等離子廢氣凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等離子廢氣凈化器采用了特別的吸附-分解-碳化離心式抽風安裝新工藝技術設計,采用標準模塊設計等優點,是一種干法處理廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術,無需處理原料,無需專人負責,不產生二次污染,換及維護保養方便。

等離子廢氣凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，頂部放電形式產生離子。等離子體是一種聚集態物質，其所擁有的電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發生一系列分化裂解反應，產生、、量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧。

等離子廢氣凈化器工作原理：

廢氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩定高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子由于鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為一階段凈化。

隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應進程。整個反應干凈全部，能量，凈化速率非常高。

等離子功能段可以激發污染物能量，促使長鏈、多鏈污染物分子的分子鍵斷裂重組，使難處理的污染物降解為較易處理的低碳污染物。

電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

等離子體技術優點：

1、介質阻擋放電產生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

2、反應快，不受氣速限制。

3、采用材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設備腐蝕問題。

4、只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。

5、設備啟動、停止，隨用隨開，不受氣溫的影響。

6、氣阻小，工藝成熟。