用途一覽表
待測藥液 | 適用藥液類別 |
---|---|
各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA, 稀薄SC-2 |
浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH HF-HNO-Si,HF-HNO3-CH3COOH-Si |
CMP液 | CMP中H2O2,CMT中BTA |
液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH, 銅-H2O2-酸 |
高濃度堿液 | NaOH,KOH,KOH-活性劑 |
有機剝離液 | MEA-BDG-水分-抗蝕劑 |
臭氧處理液 | HF-臭氧,H2SO4-臭氧 |
類別一覽表
利用形式 | 適用產品名稱 |
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聯機型 | ChemicAlyzer ACEⅡ (超高性能型) ChemicAlyzer Pro-2 (標準型) |
脫機手推車型 | ChemicAlyzerⅡ |
多槽測定控制型 | ChemicAlyzer WORKS |
混合型 | ChemicAlyzer HB-20-A |
基本規格
項目 | ACEⅡ | Pro-2 | ChemicAlyzerⅡ | WORKS | HB-20 |
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基本構成 | 測定部分? 數據處理部分 | 一體型 | 測定部? 平板電腦架 | 測定部? 數據處理部分 | |
顯示 | 7波段顯示器 | LCD | 7波段顯示器 | ||
按鍵操作 | 有 | 觸控面板 | 有 | ||
外部輸入輸出 | PI/O、串行輸出、模擬輸出 | 選項 | PI/O、串行輸出、模擬輸出 | ||
特點 | 高性能 | 標準性能 | 多條檢量線 | 多槽測定控制 | 混合型高性能 |
其他 | 內置閥門 | 內置泵和閥門 | 內置泵和閥門 | 內置閥門 |
Chemicalyzer系列根據利用場景和待測藥液,匯集了豐富齊全的產品種類
聯機型
可以對制造半導體和液晶電視中經常使用的清洗液和浸蝕液進行高精度高速測定。
ChemicAlyzer ACEII (超高性能型)增添了很多新技術,與本公司以往的機型相比,精度更上一層樓。*適合用于要求更高上等測定精度的場合。 |
ChemicAlyzer Pro-2 (標準型)雖然采用了數據處理部分與測定部分合為一體的小型化設計,但是也具有鍵盤和顯示功能。 |
待測藥液 | 適用藥液類別 |
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各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA |
浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH |
CMP液 | CMP中H2O2,CMT中BTA |
液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH |
脫機手推車型
ChemicAlyzerII*適合于由脫機測定各種處理工序的藥液濃度變化的場合。除了心臟部分的Chemicalyzer之外,還內置了泵、閥門,因此,可以只需將管子插入槽內即可測定。此外,1臺設備還可以測定多種藥液。 |
待測藥液 | 適用藥液類別 |
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各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA |
浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH |
液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH |
高濃度堿液 | NaOH,KOH,KOH-活性劑 |
多槽測定控制型
ChemicAlyzer WORKS 1臺設備可以連續、間歇地測定多個槽里的藥液濃度。 |
待測藥液 | 適用藥液類別 |
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各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA |
浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH |
有機剝離液 | MEA-BDG-水分-抗蝕劑 |
液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH |
高濃度堿液 | NaOH,KOH,KOH-活性劑 |
混合型
ChemicAlyzer HB-20-A 可以用1臺設備進行紅外光加可見光、紅外光加紫外光的組合測定。 |
待測藥液 | 適用藥液類別 |
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各種清洗液 | 希薄SC-2 |
浸蝕液 | HF-HNO-Si,,HF-HNO3-CH3COOH-Si |
液晶浸蝕液 | 銅-H2O2-酸 |
有機剝離液 | MEA-BDG-水分-抗蝕劑 |
臭氧處理液 | HF-臭氧,H2SO4-臭氧 |