產品特點：
² 移動橋式結構，測量工件固定不動；
² 四軸CNC全自動閉環控制，全自動測量；
² 高精度南非大理石基座和橫梁，穩定可靠；
² 高精密開放式光柵尺，分辨率0.1微米，精度高，穩定性好；
² P級直線導軌、研磨級滾珠螺桿和交流伺服電機，確保機臺運動系統定位精度的穩定性；
² 高穩定性高清彩色工業相機，滿足清晰觀察和穩定測量的需求；
² 6.5X連續自動變倍鏡頭，準確自動變倍，一次像素校正即可；
² 程控式5環8區LED表面光源、透射平行LED輪廓光源系統，智能實現256級亮度調節；
² 標配iMeasuring4.1全自動影像測量軟件，功能強大，簡單易用；
² 量測工件無需調節擺正，軟件提供坐標平移、旋轉、擺正。直接在影像及幾何區標注/移動尺寸。直線修剪、延伸、倒角功能。自主研發的全自動變倍遠心鏡頭，高精度伺服變倍系統令測量真正全自動化，不需要在每次變倍后重新校正放大倍率，大大提高測量效率。
² 幾何區點、線、圓/圓弧及直線端點、中點，圓心、象限點自動捕捉。調節CCD參數設定，提高自適應力；去除毛邊功能，以正確取得量測數據。利用影像工具快速自動抓取基本幾何輪廓邊界點，直接擬合成線、圓、弧。量測區工件放大攝像圖形化輸出，轉成(.bmp、.jpg)。測量數據化輸出，轉成WORD (.doc) 、EXCEL (.xls)。 SPC功能，直接輸出管制圖、制程能力指數，轉成WORD、EXCEL 機械圖形直接輸出.dxf格式，實現2D抄數功能 ，與AutoCAD、Pro/e等其它軟件無縫聯接。可轉入.DXF格式文件，與工件實物或測量圖形進行比對。并可直接在影像區任取兩點得到誤差測量值。 提供平面內直線度、圓度、角度分析，進行有效之品質檢驗機臺精度補償，提高量測精度。測量軟件界面由我公司與Sinowon公司合作翻譯的全中文界面，方便中國大陸使用者
² 主要應用于，科研，汽車配件:電池新能源，太陽能電池片 ，電子電腦行業，芯片PCB，機器人，薄壁工件,橡膠件,塑料件,易變形工件,接插件,沖壓件,微小齒輪,照明，電路模具等并具有盲孔測量 ,批量編程，劃痕等細微輪廓的全自動三維測量
² 可選配接觸式探針，激光測頭等配置，也可根據要求進行客戶定制化設計；
² 可選FexQMS測量數據分析及和實時監控軟件，提升制程控制、降低物料耗損。
技術參數:
| 產品名稱 | 高精度全自動三坐標測量儀 | |||||||
| 型號 | ESNANO-3020M | ESNANO-542M | ESNANO-652M | |||||
| 貨號# | 520-121 | 520-131 | 520-141 | |||||
| X-Y軸行程（mm） | 400x300mm | 500x400mm | 600x500mm | |||||
| Z軸行程（mm） | 200mm | |||||||
| X/Y/Z3軸光柵尺（mm） | 開放式光柵尺，分辨率：0.0001mm | |||||||
| 導向方式 | 高精密直線導軌，雙軌雙滑塊導向 | |||||||
| 操作方式 | 遙控手柄，鼠標操作，編程自動檢測 | |||||||
| 測量精度* | XY軸：≤1.8+L/200(um) | |||||||
| Z軸：≤3+L/200(um) | ||||||||
| 重復性 | 2um | |||||||
| 視頻系統** | 1/2"彩色CCD相機 | |||||||
| 6.5X自動變倍鏡頭 | ||||||||
| 光學放大倍數：0.7X-4.5X，視頻放大倍率：20X~129X（21”顯示器） | ||||||||
| 視野大小(mm) （對角*水平*垂直） | 鏡頭倍率 | 0.7x | 1x | 2.0x | 3.0x | 4x | 4.5x | |
| 1/2"CCD | 11.43x9.14x6.86 | 8.00x6.40x4.80 | 4.00x3.20x2.40 | 2.67x2.13x1.60 | 2.00x1.60x1.20 | 1.78x1.42x1.07 | ||
| 光源 | 輪廓光 | LED平行輪廓光源 | ||||||
| 表面光 | 5環8區0~255級連續可調 | |||||||
| 軟件系統 | 標配iMeasuring 4.1全自動影像測量軟件 | |||||||
| 機臺承載 | 30Kg | 30Kg | 30Kg | |||||
| 工作環境 | 溫度20℃±5℃，溫度變化<3℃/hr,濕度30~80%,振動<0.002g,低于15Hz | |||||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A | |||||||
| 外形尺寸 | 1060*820*1680mm | 1300*950*1680mm | 1600*1050*1680mm | |||||
| 重量 | 650Kg | 780Kg | 1380Kg | |||||
**放大倍率為近似值，具體與顯示器的尺寸和分辨率相關。
客戶可根據需求選配附加鏡0.5X或者2X，實現影像放大倍率：10X~64.5X或者40X~300X.
儀器特點
的精密技術，機身主體采用高精密天然花崗巖，具有穩定的溫度特性和抗時效變形能力，高精密導軌保證測量的穩定性及長期使用的剛性。
高性能，超低畸變，保證測量的精確度；精密多段定倍變焦，可先期儲存入各段倍率的放大系數，使用時隨時調出，不需再次校正，節約輔助時間，提高測量效率。探針三維測量系統配置英國雷尼紹Renishaw（MCP系統）測量工件三維輪廓尺寸
三軸均采用PTB可靠性的伺服馬達系統，所有運動控制均由專用的高速64bitDSP運動控制器進行，確保可靠性的高速測量。
三軸均采用高精度研磨級絲桿，使機臺運動更精確、快速、順暢，噪音大幅度降低。
三軸均采用感應式限位開關，提高使用壽命及限位準確度與靈敏度。
機器預留有供以后升級的探針準備系統：光柵數顯，數據接口，支架附件等。
方便用戶隨時升級，不需改裝，簡單快捷。
