型號:OTF-1200X-III-R5-PECVD
產(chǎn)品概述:OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積三溫區(qū)回轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)(R-PECVD),等離子增強(qiáng)系統(tǒng)的引入可在相對較低的溫度下實(shí)現(xiàn)粉末表面的包覆復(fù)合、核殼結(jié)構(gòu)制備等工藝過程。自動進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn),可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集,包含射頻電源(帶自動匹配功能)、四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)及真空泵系統(tǒng),可由PLC觸摸屏或PC電腦控制,使用方便快捷。
設(shè)備名稱 | 1200℃5英寸三溫區(qū)等離子增強(qiáng)粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng) (2019.10.31-科晶實(shí)驗(yàn)室審核) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品特點(diǎn) |
? 爐體在0 - 25°內(nèi)傾斜,有利于粉末樣品的裝卸; ? 齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性; ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控; ? 配備自動進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn),可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱爐參數(shù) |
三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐 ? 溫度:1200℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1100℃; ? 三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃; ? 輸入功率:208-240 V,單相,功率:4 KW; ? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗; ? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度:2-10 rpm; ? 爐體開啟式設(shè)計(jì)以達(dá)到對樣品快速降溫,方便更換爐管。
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射頻電源 |
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真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵; ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵; ? 真空度可達(dá)10-2Torr。
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供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%); ? 流量范圍:
? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz; ? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管; ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出; ? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
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產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 設(shè)備尺寸:2800mm L× 800mm W×1700mm H ? 供氣系統(tǒng):600mm L×700mm W×700mm H ? 凈重:180 kg
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認(rèn)證 |
? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
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承諾 | ? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) |