型號:OTF-1200X-50S-PE-SL
產品概述:OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統。此套設備配有等離子射頻電源,直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及機械泵組成。該設備模型可更新為不同類型的PECVD 系統,且設備性價比較為理想。
設備名稱 | 小型滑動PECVD管式爐系統—OTF-1200X-50S-PE-SL | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產品特點 | ? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度; ? 可通過爐體滑動達到快速升溫和降溫; ? 可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應力; ? 可通過工藝調節來控制化學計量; ? 可沉積各種材料,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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展示視頻 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱爐參數 | ? 溫度:1100℃(<30min);連續工作溫度:1000℃; ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統,控溫精度:±1℃; ? 輸入電源:208- 240V AC,功率:1.2KW; ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長儀器的使用壽命(點擊文字了解涂層的詳細參數)。
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射頻電源 | ? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實驗條件的需求。
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真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵; ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵; ? 真空度可達10-2Torr。
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供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%); ? 流量范圍:
? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz; ? 氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管; ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出; ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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產品尺寸和重量 | ? 尺寸:1500mm L′600mm W′1200mm H ? 凈重:160 kg ? 運輸重量:220 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證 ? 如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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承諾 | ? 一年質保期,終身維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) |