一、產品描述
二、產品功能
(一)雙向掃描輪廓功能
1)雙向掃描測量
2)特殊設計的持續爬坡能力
3)陡坡緩降、安全下坡
4)智能采樣、針尖分辨率恒定
5)智能恒測力接觸
6)效率更高
7)圖形分析
(二)螺紋掃描功能
二、技術參數
儀器電源:220V/380V±10%,50Hz±2Hz,三相交流,要求有漏電和斷電保護
使用環境:無強磁場、震動、腐蝕氣體,溫度:18-22℃,濕度:≤85%RH
儀器尺寸(長×寬×高): 1200×500×980(mm)
儀器總重量: 約180kg
(一)、輪廓測量技術指標
參數 | 測量范圍 | X軸 | 0~325mm(全程光柵) |
Z軸 | 0~325mm(全程光柵) | ||
最小分辨率 | 0.001μm | ||
掃描速度 | 0.1~2mm/s | ||
測量力 | 10-150mN | ||
爬坡能力 | 上坡78º,下坡87 º | ||
Y向工作臺 | 移動范圍100mm,工作臺整體高度85mm | ||
輪廓測量 | 直徑測量范圍 | 內:φ5~φ200,外螺紋:φ3~φ200 | |
直徑測量誤差 | ≤±(3+L/100)μm, L為長度,單位mm | ||
輪廓度測量誤差 | ≤±(1 +L/100)μm, L為長度,單位mm | ||
表面質量測量 | 粗糙度測量參數 | R參數:Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc, Rmr 核心粗糙度: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo P輪廓參數:Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq, Pdc, PPc,Pmr, W輪廓參數:Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr Motif參數:R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL | |
濾波器 | Gaussian;2RC; | ||
截止波長 | 0.25/0.8/2.5(mm) 或自定義cut-off | ||
測針針尖半徑 | 針尖分辨率6nm~30nm | ||
粗糙度測量誤差 | 2%-5% 符合“JJF1105-2018觸針式表面粗糙度測量儀校準規范 |
(二)、專用螺紋掃描
參數 | 測量范圍 | X軸 | 0~225mm(全程光柵) |
Z軸 | 0~225mm(全程光柵) | ||
最小分辨率 | 0.001μm | ||
掃描速度 | 0.1~2mm/s | ||
測量力 | 10-150mN | ||
爬坡能力 | 上坡78º,下坡87 º | ||
螺紋 輪廓測量 | 螺紋測量范圍 | 內螺紋:M5~M200,外螺紋:M5~M200 | |
螺紋測量誤差(大中小徑) | ≤±(4+L/100)μm, L為長度,單位mm | ||
測量不確定度(大中小徑) | ≤(5+L/200) μm, (k=2) | ||
螺紋螺距測量誤差 | ≤±(1 +L/100)μm, L為長度,單位mm | ||
表面質量 | 濾波器 | Gaussian;2RC;s-Filter | |
取樣長度 | 0.25/0.8/2.5/8.0 | ||
粗糙度誤差 | 2%-5% | ||
測針針尖半徑 | 可選范圍:0.02-1mm(最小針尖分辨率3nm) |
懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。