非接觸式3D 光學輪廓儀 S lynx
S lynx是一款專為工業和研究所設計的全新非接觸式3D光學輪廓儀。它設計簡潔、用途多樣。S lynx能夠測量不同的材質,結構,表面粗糙度和波度,幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測量應用。Sensofar的核心是將3種測量方式融于一體,確保了其的性能。配合SensoSCAN軟件系統,用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗。
應用領域
l 汽車業
l 消費電子產品
l 能源行業
l 液晶顯示屏
l 材料學
l 微電子學
l 微制造業
l 微體古生物學
l 光學器件
l 機床加工業
l 半導體行業
l 手表制造業
為何選擇三合一技術?
單一測量技術的系統缺乏多用性。當面對一些觸及該技術的物理測量極限任務時,用戶僅有的選擇是修改測量參數。這樣的妥協將導致犧牲速度,分辨率和精度中的一個或多個。
在Sensofar 的S系列測量系統中,隨著“三合一”這一核心技術的來臨,您只需在SensoSCAN中輕輕點擊,系統將為您的測量任務呈現的技術。這三種測量技術分別是:共聚焦,干涉和多焦面疊加。三種技術互相補充,共同成就了Sensofar的多功能表面形貌測量性能。
共聚焦技術
共聚焦技術可用于測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.09μm,利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的物鏡時,共聚焦在光滑表面測量斜率達70°(粗糙表面達86°)。的共聚焦算法保證Z軸測量重復性在納米范疇。
干涉技術
白光干涉功能強大,廣泛應用于測量表面形貌和透明膜。它特別適用于測量光滑和適度粗糙的表面。它的優勢在于任何放大倍數都能確保納米級的縱向分辨率。
多焦面疊加技術
多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據Sensofar在共聚焦和干涉技術融合應用方面的豐富經驗,特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該科技的亮點是快速(mm/s),掃描范圍大和支援斜率大(86°)此功能對工件和模具測量特別有用。
一鍵3D測量
用戶只需找到測量位置, 點擊3 D 測量按鈕,SensoSCAN的軟件將自動調整照明亮
度,自動對焦,執行的測量模式,將精準的測量結果于彈指間為您呈現。
交互式分析工具
交互式的3D 和2D視圖提供多樣的分析,演示及渲染選項。內置測量軟件有測量尺寸,角度,距離,直徑,標注特性等功能。因此,SensoSCAN是一款解決各種分析任務的理想軟件。您還可選擇以下兩套高階軟件來完成更復雜的分析--SensoMAP和SensoPRO。
2D和3D表面紋理參數