量分辨。在檢測器端，島津SHIMADZU AXIS Supra X射線光電子能譜儀采用位于能量分析器出口中心位置上的第二代的二維陣列延遲線檢測器，可以同時記錄光電子的信號強度及其發射位置，亦可以在數秒的時間里獲取完整的XPS譜圖。
島津SHIMADZU AXIS Supra X射線光電子能譜儀采用與靜電傳輸透鏡同軸的超低能單電子源荷電中和器，滿足各類絕緣樣品的XPS分析任務，尤其是對于表面凸凹不平的樣品（典型的是粉末樣品和斷口樣品），可以獲得的分析結果。
島津SHIMADZU AXIS Supra X射線光電子能譜儀采用的球鏡半球能量分析器，獲得超高空間分辨的二維光電子圖像，亦即元素的不同化學狀態的二維分布。
島津SHIMADZU AXIS Supra X射線光電子能譜儀使用的靜電傳輸透鏡內置的靜電偏轉裝置，可以利用光電子圖像在不移動樣品的情況下，獲得不同位置上的小束斑微區XPS譜。
島津SHIMADZU AXIS Supra X射線光電子能譜儀標配單色化Al陽極，亦可選購單色化的Al/Ag雙陽極，并且單色化陽極靶可以更換多個新鮮靶點，極大地延長了陽極靶的使用壽命。
島津SHIMADZU AXIS Supra X射線光電子能譜儀標配進樣室定位光學顯微鏡，可以在進樣預抽真空時定位多樣品的分析位置，然后轉入分析室實施自動分析。
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