氣體介質(zhì)要求:潔凈、干燥、無腐蝕性的氣體
介質(zhì)種類:Air、N2、O2、CO2、H2等
量程:0~100sccm;0~500sccm
可控流量范圍:0~102%F.S.
精度:±(0.8%RD+0.2%F.S.)RD?讀數(shù);F.S.?滿量程
溫漂:±0.12%/℃
重復(fù)性:±0.5%
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移:0.05%F.S./年
響應(yīng)時(shí)間(T90):<1s
標(biāo)定工況:20℃,1個(gè)大氣壓
工作溫度:0~50℃
工作濕度:<90%,無冷凝
工作壓力:1MPa
輸出信號(hào):RS-485;RS-232(可定制)
供電電壓:12VDC
材質(zhì):主體材質(zhì)為鋁合金、閥體材質(zhì)為黃銅、密封材質(zhì)為FKM(Viton)
過程連接尺寸和類型:1/8"NPT外螺紋
安裝方式;對(duì)位置無要求