產品描述

Smartproof 5快速轉盤共聚焦顯微鏡以共聚焦光學為基本原理，采用的高速轉盤掃描技術為成像方法，將高分辨率與速度結合在一起，是一款能夠快速提供工業零部件表面三維輪廓，并可實現非接觸式表面粗糙度測量的精密分析儀器。

Smartproof 5擁有業內的高分辨率和高速度共聚焦系統，的轉盤共聚焦技術有效地減少獲取分析結果的時間。集成和穩固設計確保無附加防振設備下能夠在不同環境中安裝并使用，的操作者模式適合工業生產的批量檢測任務，能夠極大地提高檢測效率。蔡司以她的光學技術和基于用戶的設計理念，再次向世界證明了光學的地位。

產品特點

l高分辨

由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5將傳統光學分辨率提高1.4倍，其XY方向線分辨率達到120 nm。

l高測量精度

同時，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎上，Smartproof 5配備了精度高、重復性好的Z軸自動步進裝置，最小步進精度達到1nm，這使得高度上亞微米，甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。

l高速掃描

傳統共聚焦采用點掃描成像，速度較慢；而Smartproof 5采用轉盤掃描，成像速度大大提高，的高精度模式掃描速度超過50幅/秒（2048*2048分辨率），可以說瞬間即可得到測量結果，大大提高工作效率。

l真實色彩還原

還可使用三色LED光源，能夠展現被測試樣表面的真實顏色，從而將傳統黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應用領域。

技術參數：

1. 波長：405nm

2. 分辨率：120nm

3. Z軸最小步進精度：1nm

4. 成像速度：常規共聚焦的2-3倍

5. 物鏡：2.5x-100x 

6. 高度掃描范圍：高達5mm

7. 載物臺：150mm×150mm超大行程

8. 控制系統：Smartproof 5應用軟件

9. 圖像處理和數據測量：

2D：距離，高度，角度，構造元素，基于ISO 4287的輪廓粗糙度

3D：水平距離，3D距離，高度，角度，構造點，面積，體積，基于ISO 25178的面粗糙度

其他：水平調整，形狀去除，濾波，去噪，報告

應用

1. 汽車制造：研究活塞的摩擦磨損、特殊要求的部件表面粗糙度測量、焊接組件及接縫處的角度測量

2. 航空航天工業：評價橡膠密封圈的磨損、特殊要求表面 的粗糙度分析

3. 科研：植入器官的表面測量

4. 微光學/機械制造：敏感精密光學部件的表面測量、精密機械部件的精密幾何測量

5. 電子：導線的幾何量測量（寬度，厚度等）、焊接結點的質量過程控制

6. 造紙：紙張以及印刷品的表面測量

應用圖例：

激光刻蝕表面，帶表面紋理圖層的3D 彩色編碼高度圖

衍射光學器件，彩色編碼高度圖

研磨鋁表面,帶表面紋理圖層的3D顯示圖

臺階高度標樣測試（標準高度1.777±0.011mm，NIST認證），實測臺階高度1.772mm。

上圖：三維偽彩圖；下圖：二維輪廓線圖。

粗糙度標樣測試結果。標準粗糙度Ra = 2.97mm，實測Ra=2.962mm。

20x物鏡，4x1三維拼接，cut-off值取1/5取樣長度。