在生產(chǎn)中，微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價具有直接的影響，為了能更全面、更真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量，表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。SuperView W1 光學輪廓測量儀是利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)，用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品功能
1) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能。
2) 測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調(diào)亮度等自動化功能。
3) 測量中提供拼接測量功能。
4) 分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
產(chǎn)品性能
縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關(guān)
掃描幀速：50FPS/s
粗糙度重復性：0.005nm（依據(jù)ISO 25178-2012）
光學分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關(guān)
*大點數(shù)：1048576（標準）
臺階測量：準確度≤0.3%，重復性≤0.08%1σ
SuperView W1 光學輪廓測量儀主要用于成品的質(zhì)量管理，確保良品合格率。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、臺階高度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質(zhì)量要求的領(lǐng)域中，可以說只有白光干涉儀才能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。
