性能特點
1、輪廓/粗糙度測量功能:高到亞納米級的高度分辨率,在寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能以及表征表面整體加工質量的粗糙度等指標;
2、自動化測量功能:
自動單區域測量/自動多區域測量/自動拼接測量;
3、復合型掃描算法:
集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優點的EPSI掃描算法,有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品,無須切換,操作便捷;
4、雙重防撞保護功能:
Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能,雙重保護,多一重安心;
5、環境噪聲檢測功能:
環境噪聲評價功能能夠定量檢測儀器當前所處環境的綜合噪聲數值,對儀器的調試、測試可靠性提供指導;
6、完善的售后服務體系:
設備故障遠程&現場解決,軟件免費升級。
中圖儀器3D表面輪廓儀以白光干涉技術為原理,能夠以優于納米級的分辨率非接觸測量樣品表面形貌,用于表面形貌紋理,微觀結構分析,用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等領域。
在芯片封裝測試流程中,中圖儀器3D表面輪廓儀可以測量晶圓減薄和晶圓切割工藝需要測量的晶圓膜厚、粗糙度、平整度(翹曲),晶圓切割槽深、槽寬、崩邊形貌等參數。