概述：
等離子體清洗機由真空腔體及等離子電源、抽真空系統、充氣系統、控制系統等部分組成。工作基本原理是在真空狀態下，等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到0.02-0.03mbar 的真空度，再在等離子電源作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質第四態）。等離子電源提供能量使氣體電離成等離子態。等離子態顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的色彩可見光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發生作用，得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。
技術參數:
罐體尺寸：Φ150×220深；
極限真空度： 9*10-1Pa(配套雙級旋片真空泵)；
射頻電源，功率0～150 W，數顯；
充氣系統包括高真空專用微調閥2套，方便二種不同氣體按比例混合；
真空系統 配真空泵一臺，抽氣速度≥2 升/秒 ，極限真空9x10-1，工作電壓220伏。真空專用閥、充氣閥、不銹鋼真空波紋管、高精度數字式真空計、規管（配觸摸屏系統采用進口規管）；
刻蝕系統另加裝水冷樣品臺；
標配采用手動邏輯控制。可選配PLC+觸摸屏自動控制。
