等離子廢氣凈化器包括設置有進風口和出風口的殼體，在殼體內設置有進氣風扇，在殼體內還設置有與低溫等離子體放電電極、預荷電集塵電極相聯接的高壓窄脈沖電源和預荷電集塵電源，空氣在進氣風扇的驅動下進入低溫等離子體放電電極之間，在高壓脈沖的作用下將在低溫等離子體放電電極周圍產生大量的低溫等離子體，這些等離子體內有大量的強氧化性的自由基團，這些自由基團能 的去除室內空氣中像甲醛、二氧化硫、二氧化氮等氣體，室內空氣中的懸浮顆粒物在經過預荷電集塵電極的時候會被吸附到集塵板上從而被，含有豐富的負離子的純凈空氣從排氣口排出。
等離子廢氣凈化器裝置是運用 雙極離子管的電離作用，當空氣經過雙極離子管表面時氧原子失去一個電子而變成一個帶正電的離子，氧原子獲得一個電子變成一個帶負電的離子，形成雙極（正極和負極)的空氣離子，并且雙極離子化過程中還產生大量負氧離子。這些電離形成的電離氧和空氣中帶相反電荷的污染物發生作用，達到分解空氣中TVOC氨等氣體、、沉降顆粒物的目的，但是離子管不會產生熱量。
低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
低溫等離子體內部產生富含 化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較 量的活性基團發生反應， 終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
低溫等離子體去除污染物的機理：
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場＋電子→ 電子
(2) 電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子 先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外， 電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
