【8英寸】 SYSC-200高精度程控勻膠機 旋涂儀 Spin Coater
一. 產品應用
SYSC-200系列高精度程控旋涂儀（Spin Coater），其*高轉速可達12000rpm，*大旋轉加速度可達60000rpm/s（有負載條件下的真實加速度）。具有速度精度高、轉速穩定、的加速度、主動式速度調控、勻膠過程多段程序控制等特點?？捎糜谖㈦娮?、半導體、光電器件、新能源、生物材料、光學器件等領域的各類高精密納米功能涂層的制備。
二. 產品特點
1. 旋轉電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機，具有高精度、高穩定性、高可靠性。
2. 優異的旋轉加速性能，*大旋轉加速度可達60000rpm/s（有負載的真實加速度）。
3. 兩項安全互鎖功能：
(1) 勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能，確保腔體關閉后才可啟動，防止勻膠過程中飛片造成 人身傷害；
(2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運行。
4. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
5. 勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料，經CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進入真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。
6. 旋轉吸片臺采用德國勞士領PEEK材料，經CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程*多可分十段進行，每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控制、連續可調?？蓛Υ?/span>50組工藝程序，隨時調用。
8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態及各項參數實時顯示，更直觀了解勻膠進程；
9. 真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制，無需手動操作。
10. 旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時間”*多為99s，確?；喂涛接谛D臺后再進行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”*多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
11. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺，防止飛片。
三. 技術參數
| 設備型號 技術參數 | SYSC-200A | SYSC-200B | SYSC-200C |
| 可鍍膜基片尺寸 | ?10～200mm | ?10～200mm | ?10～200mm |
| 旋轉速度 | 10～8000rpm | 10～10000rpm | 10～12000rpm |
| 轉速分辨率 | 1rpm | 1rpm | 1rpm |
| 速度精度性 | ＜0.02% | ＜0.02% | ＜0.02% |
| 旋涂加速度* | 0～40000rpm/s | 0～50000rpm/s | 0～60000rpm/s |
| 每段加速時間 | 999.9s | 999.9s | 999.9s |
| 每段旋涂時間 | 9999.9s | 9999.9s | 9999.9s |
| 時間分辨率 | 0.1s | 0.1s | 0.1s |
| 預吸片時間 | 99s | 99s | 99s |
| 解吸片時間 | 99s | 99s | 99s |
* *大旋涂加速度為有負載條件下(使用≤?100mm基片)的真實加速度
