連接相鄰表面以測量大于90°的角度

測量包含陡角的復雜曲面非常困難因為陰影效應會阻止您在單次采集中獲得完整的測量結果。有必要傾斜樣品以便從兩個不同的位置測量樣品并將兩個形貌結果組合以獲得完整的測量結果。

自由度，測量無限制

通過自動化程序，只需單擊一下即可測量樣品的不同部分。友好的用戶界面允許您在沒有任何約束的情況下找到測量位置。然后關注樣品的關鍵部分并將其添加到自動化例程中。最后點擊”獲取”，只需單擊一下即可獲得所有測量部件。這是一種自動化測量程序的快速簡便方法。

準確可靠的表面光潔度測量

我們的共聚焦和干涉測量技術允許您測量具有任何級別的粗糙表面，從極粗糙(典金剛石或鏡面)。根據NPL、NIST和PTB 使用共聚焦技術和高數值 粗糙度標準，將我們的系統轉換為重復且 可追溯的系統。Ai多焦面疊加技術使系統 的切削刃半徑。
對測量大坡度提供了快速、簡便地響應。

非接觸評定
S neox 秉持了起初的設計目標，作為一臺具有高性能的3D 光學輪廓儀，超越了現有的一切光學輪廓儀。S neox 結合了三大技術--共聚焦(于高斜率表面)、干涉(能提供的垂直分辨率)和Ai多焦面疊加(在短短幾秒內測量形態特征)，將三大技術集成于同一傳感器頭中，且不采用任何移動部件。

系統規格

測量原理:共聚焦,PSI,ePS,CS,AI多焦面疊加和膜厚

觀察模式:明場,DIC彩色,共聚焦,干涉相位對比

相機:5Mpx:2448x2048像素(可達180fps)

總放大倍數:60X-21600X(27英寸顯示器)

顯示分辨率:0.001nm

視場:0.113到16.8mm(單視場)

臺階重復性:60.1%

臺階精度:60.5%

一般垂直掃描范圍:線性平臺:40mm;5nm分辨率

精細垂直掃描范圍:PZT:200pm;0.5nm分辨率

Z測量范圍:PSI20pm;CS110mm;共聚焦&Ai多焦面疊加34mm

XY平臺范圍:手動:40x40mm;電動:114x75 mm,154x154mm,255x215 mm,302302mm

LED光源:紅(630nm);綠(530nm);藍(460nm)和白(575nm)

拼接張數:10x12(高分辨率);175x175(500 Mpx)

物鏡轉盤:6孔電動樣品

反射率:0.05%到 99%

樣品重量:高達25Kg

樣品高度:40mm(標準支架);150mm和350mm(選件)

SENSOFAR是一家科技企業，在形貌計量領域堅持采用的質量標準
Sensofar Metrology提供基于共聚焦、多焦面疊加和干涉技術的高精度光學輪廓儀，提供用于研發和質量檢測實驗室的標準系統到用于在線生產過程的完整非接觸式計量解決方案。Sensofar集團總部位于巴塞羅那，也是歐洲的技術和創新中心。集團通過基于戰略性分布的合作伙伴構成的網絡在超過30個國家設有代表處并在亞洲、德國和美國擁有辦事處。