島津X射線光電子能譜儀AXIS-ULTRA DLD簡單介紹
AXIS-ULTRA DLD型X射線光電子能譜儀由島津制作所的全資子公司--英國KRATOS公司生產，是實時成像XPS的產品，空間分辨率小于3μm。

島津X射線光電子能譜儀AXIS-ULTRA DLD儀器特點
1. 能夠與多種測定技術集成
AXIS-ULTRA DLD型標準配備了具有多個國際標準窗口的樣品處理室，作為樣品的前處理腔，功能強大且擴展性強。能夠對應樣品加熱制冷及具有反應功能的樣品反應池，多樣品停放器等許多選購件。樣品分析室可以增加UPS、FE-AES、ISS等分析方法，可以組合成復合分析裝置。
2. 延遲線探測器（DLD）系統
采用了延遲線探測器。既可以生成譜圖又可以生成圖像。各測定模式均可以提供正緣穆齔寮剖２喚隹梢栽諉杵滓悄Ｊ較攏ü?28個檢測通道提供高靈敏度的測定，還可以不通過分析器的能量掃描，利用快速非掃描的“快照”譜儀模式瞬間測定窄掃描譜。成像模式能夠提供256×256像素、空間分辨率小于3μm的高分辨率圖像。
3. 平行成像暈⑶淄稽br /> 采用平均半徑達165mm的大型靜電半球分析器與成像專用的球鏡分析器組合的合成分析器。在進行化學狀態分析、深度方向分析等的譜儀分析時，通過大型靜電半球分析器能夠提供高能量分辨率、高靈敏度的測定。多點微區測定時利用輸入透鏡內的光電子偏轉系統，能夠韻腫既返牡惴治觥＠們蚓搗治銎鶻釁叫諧上瘛９獾繾映上竦目占浞直媛市∮?μm，能夠在譜儀測定的同時，極短時間內得到高分辨率圖像。