日本電子掃描電子顯微鏡JSM-6510A/JSM-6510LA詳細(xì)介紹
日本電子掃描電子顯微鏡JSM-6510A/JSM-6510LA型與日本電子公司的元素分析儀(EDS茫澈嫌諞惶濉=峁菇舸盞腅DS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制,操作員只用一只鼠標(biāo),就可完成從圖像觀(guān)測(cè)到元素分析的整個(gè)過(guò)程。
操作窗口:
直觀(guān)的操作界面的設(shè)計(jì),簡(jiǎn)明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶(hù):
單個(gè)用戶(hù)可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標(biāo),營(yíng)造快捷的操作環(huán)境。用戶(hù)登錄時(shí),即可加載已注冊(cè)過(guò)的設(shè)定。
同時(shí)顯示兩幅圖像:
畫(huà)面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像。可同時(shí)觀(guān)察樣品的形貌和組成分布。
微細(xì)結(jié)構(gòu)測(cè)量:
適合于多種測(cè)量功能。可在觀(guān)察圖像上慕詠脅飭俊R部山飭拷峁罶EM圖像,保存在文件中。
標(biāo)準(zhǔn)的全對(duì)中樣品臺(tái),能收錄三維照片
3D Sight(選配件),能夠進(jìn)行平面測(cè)量和高度測(cè)量,實(shí)現(xiàn)立體俯視圖。
從圖像觀(guān)察到元素分析,配合連貫
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺(tái)監(jiān)視器,一臺(tái)用于SEM圖像觀(guān)察和另一臺(tái)用于元素分析(EDS)。一只通用鼠標(biāo)即可同時(shí)控制兩臺(tái)監(jiān)視器。大尺寸畫(huà)面使操作更加簡(jiǎn)便與舒適。
維護(hù)簡(jiǎn)便:
工廠(chǎng)預(yù)置中心燈絲,十分便于更換。因此,可長(zhǎng)期保持穩(wěn)定的高性能。此外,操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步鈾得鰲Ⅻbr /> 可信賴(lài)的真空系統(tǒng):
真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無(wú)活動(dòng)部件,體現(xiàn)了操作穩(wěn)定,維護(hù)簡(jiǎn)便的特色。
日本電子掃描電子顯微鏡JSM-6510A/ JSM-6510LA型的JSM-6510規(guī)格
保證分辨率 | 3.0nm(30kV) |
放大倍數(shù) | 5至300,000x |
加速電壓 | 0.5kV至30kV |
電子槍 | 工廠(chǎng)預(yù)對(duì)中燈絲 |
聚光鏡 | 變焦聚光鏡 |
物鏡 | 錐形物鏡 |
樣品臺(tái) | 全對(duì)中樣品臺(tái) |
X-Y | 80mm-40mm |
Z | 5mm至48mm |
旋轉(zhuǎn) | 360° |
傾斜 | -10°至+90° |
排氣系統(tǒng) | DPx1,RPx1 |
排氣系統(tǒng) | DPx1,RPx2 |