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PlasmaPro 80 ICP 英國牛津OXFORD 等離子體刻蝕機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市藍星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/11/18 17:53:37
  • 訪問次數199
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深圳市藍星宇電子科技有限公司,經過十多年的紫外光專業技術沉淀,可以根據客戶特殊要求提供定制化服務,研發設計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準分子清洗機,等離子清洗機/去膠機等科研以及生產設備,擁有自主品牌及注冊商標。 同時我們代理歐美日多家高科技設備廠家高性價比產品, 始終堅持創新, 技術, 服務, 誠信的企業文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設備和材料的整體解決方案。 應用領域: 半導體/微納,光電/光學, 生命科學/生物醫療等領域的研發和生產, 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業及醫療機構等。 半導體/微納,光電/光學 產品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機,電子束光刻機, 激光直寫光刻機,紫外光刻機,微納3D打印機,德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發鍍膜機,微波離子沉積機MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機,電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機等*技術產品。 生命科學/生物醫療 產品主要有:PCR儀,核酸質譜儀/核酸檢測儀,電子顯微鏡,紫外設備,光譜/色譜/質譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實驗耗材等。 并可依據客戶需求,研發定制相關產品。我們以高性價比的優勢為客戶提供優質的產品與服務,為高等院校, 研究所,科技企業及醫療機構等客戶提供儀器設備和材料。
PlasmaPro 80 ICP 英國牛津OXFORD 等離子體刻蝕機,是一種結構緊湊、小型且使用方便的直開式系統,可提供多種刻蝕解決方案。 它易于放置,便于使用,且能夠確保工藝質量。直開式設計允許快速的進行晶圓裝卸,是科學研究、原型設計和少量生產的理想選擇。 該設備通過優化了的電極冷卻技術和出色的襯底溫度控制來實現高度穩定的工藝結果。
PlasmaPro 80 ICP 英國牛津OXFORD 等離子體刻蝕機 產品信息

PlasmaPro 80 ICP 英國牛津OXFORD 等離子體刻蝕機

PlasmaPro 80 ICP是一種結構緊湊、小型且使用方便的直開式系統,可提供多種刻蝕解決方案。 它易于放置,便于使用,且能夠確保工藝質量。直開式設計允許快速的進行晶圓裝卸,是科學研究、原型設計和少量生產的理想選擇。 該設備通過優化了的電極冷卻技術和出色的襯底溫度控制來實現高度穩定的工藝結果。

。直開式設計允許快速裝卸晶圓
。出色的刻蝕深度和刻蝕速率控制
。出色的晶圓溫度均勻性
。晶圓可達200mm
。購置成本低
。符合半導體行業 S2 / S8標準

應用:

· III-V族材料刻蝕工藝

· 硅 Bosch和超低溫刻蝕工藝

· 二氧化硅和石英刻蝕

· 用于失效分析的干法刻蝕解剖工藝,可處理封裝好的芯片、 裸晶片以及200mm晶圓

· 用于高亮度LED生產的硬掩模的沉積和刻蝕

特點:

· 小型系統 —— 易于安置

· 優化的電極冷卻系統 —— 襯底溫度控制

· 高導通的徑向(軸對稱)抽氣結構 —— 確保能提升工藝均勻性和速率

· 增加<500毫秒的數據記錄功能 —— 可追溯腔室和工藝條件的歷史記錄

· 近距離耦合渦輪泵 —— 抽速高迅速達到所要求的低真空度

· 關鍵部件容易觸及 ——系統維護變得直接簡單

· X20控制系統——大幅提高了數據信息處理能力, 并且可以實現更快更可重復的匹配

· 通過前端軟件進行設備故障診斷 —— 故障診斷速度快

· 用干涉法進行激光終點監測 —— 在透明材料的反射面上測量刻蝕深度 (例如硅上的氧化物),或者用反射法來確定非透明材料 (如金屬) 的邊界

· 用發射光譜(OES)實現較大樣品或批量工藝的終點監測 —— 監測刻蝕副產物或反應氣體的消耗量的變化,以及用于腔室清洗的終點監測

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