優(yōu)勢(shì)
? 傳感器部分采用哈氏合金,耐腐蝕性強(qiáng)。
? 產(chǎn)品精度高,可達(dá)99%~25%:±1.0% of S.P.、25%~2%:±0.25%F.S. 響應(yīng)時(shí)間快(≤1s)
? 產(chǎn)品具有多氣體多量程功能,可對(duì)氣體種類、流量的變更設(shè)定
? 支持大流量(可到1000L)數(shù)字模式通訊模式
? 產(chǎn)品通過CE、RoHS認(rèn)證
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | K1000A | K1000B | K1000C | ||||
流量規(guī)格(N2換算流量) | Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM |
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Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM | Bin 6: 3SLM ~10SLM |
| 60SLM 、100SLM、 | 200SLM、300SLM、 |
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Bin 3: 100SCCM~300SCCM | Bin 7: 10SLM~ 30SLM | Bin 8: 30 SLM ~50SLM | 150SLM、200SLM | 400SLM、500SLM | 600SLM、1000SLM(N2, H2, Air 等) | ||
Bin 4: 300 SCCM ~1SLM |
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Bin 5: 1SLM ~3SLM |
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閥類型 | N/O:常開型、N/C:常閉型 | N/C:常閉型 | |||||
流量控制范圍 | 2%~99%F.S. | ||||||
準(zhǔn)確度 | 99%~25%:±1.0% of S.P., | ±1%F.S.(精度保證范圍15~35℃) | ±2%F.S.(精度保證范圍15~35℃) | ||||
工作環(huán)境溫度 | 5~50℃ | 5~45℃ | |||||
響應(yīng)時(shí)間 | ≦1sec | ≦3sec | |||||
線性 | ±0.5%F.S. | ||||||
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | ||||||
工作壓差范圍 |
| N/O 100~300KPa (3SLM~10SLM) |
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50~300KPa | N/O 150~300KPa (11SLM~30SLM) | 200~300KPa |
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(Ar: 100~300KPa) | N/C 100~300KPa (3SLM~30SLM) | (Ar: 250~450KPa) | 100~300KPa | 150~300KPa | 300~450kPa (H2:150~300kPa) | ||
| (Ar 200~3500KPa) |
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溫度系數(shù) | Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃ | ||||||
工作壓力 | 400KPa(Ar:500KPa) | 700KPa | |||||
耐壓 | 1MPa | ||||||
漏率 | 金屬密封:1×10-11Pa?m3/sec He (1×10-10 atm?cc/sec He) | 橡膠圈密封:1×10-7Pa?m3/sec He (1×10-6 atm?cc/sec He) | |||||
橡膠圈密封:1×10-7Pa?m3/sec He (1×10-6 atm?cc/sec He) | |||||||
密封材料 | 金屬密封;氟橡膠;氯丁橡膠 | 氟橡膠;氯丁橡膠 | |||||
通訊形式 | 模擬:0~5V DC 數(shù)字:RS485、DeviceNet、EtherCAT | 模擬:0~5V DC 數(shù)字:RS485、DeviceNet、 | |||||
電源 | 模擬/數(shù)字:+15VDC 50mA,-15VDC 200mA; DeviceNet:+11~+24VDC,5.5VA(5.5W) | ||||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR 1/4陽(yáng)接頭、雙卡套1/4陽(yáng)接頭 、 1.5'' W-Seal、1.125'' W-Seal、 1.125'' C-Seal | VCR 3/8陽(yáng)接頭、雙卡套3/8陽(yáng)接頭 | VCR 1/2陽(yáng)接頭、雙卡套1/2陽(yáng)接頭 | ||||
重量 | 1.0kg | 3.0kg | 3.7kg |