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DS300質量流量控制器

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公司名稱北京七星華創流量計有限公司
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廠商性質其他
更新時間2022/11/14 16:54:04
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公司介紹主營產品

我們是一家專業提供工業領域

核心零部件的供應商，致力于實現核心零部件中國造的產業夢想。

七星流量計傳承了氣體流量測控領域40多年研發生產經驗，始終以技術創新為基點，為客戶過程控制中氣體的精準測控提供優質的產品和服務。

在流量測控產品迭代升級的同時，七星流量計依據工業領域客戶新的零部件產品需求進行探索研究，深挖技術，創新產品，不斷拓寬產品線，形成了流量測控、壓力測控、磁流體密封裝置、氣路系統等系列產品，為半導體、太陽能、燃料電池、真空鍍膜、分析儀器等行業客戶需求，提供定制化零部件綜合解決方案及產品服務，其營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等世界主要國家和地區。

七星流量計未來將始終專注零部件領域的研發制造，堅持以客戶需求為導向，深耕發展，不斷創新，做好中國工業領域核心零部件產品，為更多的客戶提供優質產品與服務。

展開顯示更多內容

CS系列數字式質量流量計/質量流量控制器；D07系列模擬式質量流量計/質量流量控制器； PC系列數字式壓力控制器；D08系列流量顯示儀和積算儀；閥門管件和氣體管路系統。

產品簡介在線詢價

DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器，用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小，精度高，響應速度快，壓力不敏感的特點，產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。

DS300質量流量控制器產品信息

優勢

? 控制精度高，精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
? 響應速度快，響應時間≤ 0.5sec。
? 采用基于壓力原理的流量傳感器技術，使產品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動。
? DS300采用有效的機械加工技術與表面處理技術解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實現孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學拋光處理，符合SEMI標準要求。

技術參數

DS300C
型號	DS300C
閥類型	常閉
流量規格(N2)	(0～30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) SLM
準確度	±1% S.P. (≥10% F.S.) ±1% F.S. (＜10% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復精度	±0.2% F.S.
響應時間	≤ 0.5sec
進口壓力	240～450KPa 流量規格≤5SLM 350～450KPa 流量規格＞5SLM
出口壓力	≤1.2KPa 流量規格≤5SLM ≤13.3KPa 流量規格＞5SLM
溫度系數	零點：≤±0.02% F.S./℃；調節時：≤±0.1% F.S./℃
耐壓	3 MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	金屬密封
工作壓力	0.45MPa
工作環境溫度	（10～45）℃
輸入信號	數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
輸出信號	數字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
零漂	在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源	±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極)
表面化學成分	Cr/Fe比例≥2.0； CrO 厚度≥20 （埃）
表面粗糙度	Ra 5μinch
標準接頭形式	VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭； 1.125″W型密封接頭； Compression Fittingφ6
電源接頭形式	D型9針陽接頭； D型15針陽接頭； DeviceNet接頭
重量	1.2Kg