STP Maglev 真空分子渦輪泵 愛德華edwardsSTP Maglev 真空分子渦輪泵STP-iX455 渦輪分子泵
為了實(shí)現(xiàn)始終如一的可靠性能 和零維護(hù)，您每次都可以依賴于 Edwards 的 STP Maglev 渦輪分子泵 來實(shí)現(xiàn)。
我們的套 STP Maglev 渦輪分子泵于 1983 年售出，現(xiàn)在已經(jīng)在世界各地 安裝了 130,000 多套。其中的 85% 都運(yùn)行于半導(dǎo)體制程工具中， 表現(xiàn)出了的性能級(jí)別和可靠性。
對(duì)于需要長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行、無碳?xì)?化合物泵送、維護(hù)量少和低振動(dòng)的應(yīng)用， STP Maglev 渦輪分子泵是泵。轉(zhuǎn)子通過磁力軸承實(shí)現(xiàn) 懸浮，因此，消除了轉(zhuǎn)子與泵其余部分之間的 所有接觸。除振動(dòng)極低之外，消除接觸 還意味著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí) 不會(huì)發(fā)生軸承接觸，也就無需對(duì)泵進(jìn)行后續(xù) 維護(hù)。
產(chǎn)品開發(fā)的每個(gè)設(shè)計(jì)階段均 融合了節(jié)能技術(shù)，以確保降低 能耗和提升運(yùn)行效率，同時(shí)不損害 質(zhì)量和性能。
提高了生產(chǎn)效率：
更快抽空到基準(zhǔn)壓力體積緊湊：
節(jié)省空間并且易于安裝低擁有 成本：
低功耗和水電消耗免維護(hù)：
經(jīng)濟(jì)
平板顯示器
我們豐富多樣的 STP Maglev 渦輪分子泵旨在Z大限度地提高基板吞吐量和Z終零濕度制程條件，同時(shí)盡可能降低功耗、占地面積和重量。
LED
我們的 STP Maglev 渦輪分子泵產(chǎn)品系列是適用于大容量高流速應(yīng)用的“一體化”低功耗緊湊型解決方案。
光電
我們的 STP Maglev 渦輪分子泵已進(jìn)行優(yōu)化，可滿足客戶的特定應(yīng)用要求，同時(shí)具有的制程氣體處理能力、始終如一的性能的Z高可靠性。
半導(dǎo)體加工
磁懸浮轉(zhuǎn)子經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，降低了艙室污染并延長(zhǎng)了維修間隔，使得 STP Maglev 渦輪分子泵成為您的制程工具的可靠之選。
*的 高吞吐量系列
全新的“優(yōu)勢(shì)”系列 磁懸浮渦輪泵經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，可提供下一代 半導(dǎo)體蝕刻和 CVD 制程所需的Z高吞吐量 級(jí)別。它們是以超可靠、高性能 H 系列產(chǎn)品 為基礎(chǔ)，通過持續(xù)改進(jìn)技術(shù)開發(fā)而成。 其*的轉(zhuǎn)子技術(shù)和 3D 葉片設(shè)計(jì)與一系列可供選擇的 Z佳材料相結(jié)合，因而能夠在與現(xiàn)有的許多型號(hào)相同的 占用空間內(nèi)創(chuàng)造出下一代高吞吐量渦輪泵。 該系列包含的泵具有 300 l/s 到 4500 l/s 的生產(chǎn)效率， 吞吐量高達(dá) 6 slm，并具有更高的 H2、N2 和 Ar 性能。
集成的控制器和電源
這是真正的一體化渦輪泵 解決方案，具有出色的特性并可實(shí)現(xiàn)節(jié)省。 集成的控制器不再需要非集成控制器 通常所需的連接電纜和機(jī)架，有助于減小 占地面積，節(jié)省寶貴的工廠用地以及安裝時(shí)間和 成本。此外，板載控制器包含一個(gè)小型電源， 與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，它可在高氣體流量下實(shí)現(xiàn) 大約 32% 的能耗降低。此系列產(chǎn)品的生產(chǎn)效率 為 300 l/s 到 4500 l/s，這意味著它是許多制程和應(yīng)用的 理想選擇。
超 高真空
超高真空系列 磁懸浮渦輪分子泵是供許多半導(dǎo)體、表面科學(xué) 或高能物理領(lǐng)域使用的泵。這種泵 具有的可靠性、性能、清潔程度以及的 低振動(dòng)級(jí)別。這些泵全部是直流供電，無需使用 電池，采用一個(gè)具有自動(dòng)調(diào)節(jié)和*診斷功能的 半機(jī)架控制器。該系列中泵的速度范圍為 300 l/s 到 1000 l/s，極限壓力小于 10-10 mbar（CF 法蘭），另外 還有一個(gè)用于嚴(yán)苛制程的“C”型。
超 高真空低振動(dòng)系列
超高真空低振動(dòng) 型包含超高真空渦輪分子泵的所有特性， 另外還有一個(gè)內(nèi)置隔振器，可提供超低振動(dòng) 性能。
概述
此泵的氮?dú)獬樗贋?450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學(xué)、光刻和其他對(duì)振動(dòng)敏感的應(yīng)用。
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長(zhǎng)
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
STP-iX455 渦輪分子泵 ISO100K
PT640Z010
STP-iX455 渦輪分子泵 ISO160K
PT640Z020
STP-iX455 渦輪分子泵 DN100CF
PT640Z050
STP-iX455 渦輪分子泵 DN160CF
PT640Z060
功能和優(yōu)勢(shì)
緊湊型設(shè)計(jì)，包括集成的控制器
創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了 50%
可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程
自動(dòng)平衡系統(tǒng) (ABS) 標(biāo)準(zhǔn)
自動(dòng)減振 (AVR) 標(biāo)準(zhǔn)
列于 UL 中，具有 CE 標(biāo)記，符合 SEMI® S2
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 入口法蘭 | ISO100K |
| 抽速 | |
| N2 | 300 ls-1 |
| H2 | 300 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >1 x 104 |
| 極限壓力 | 6.5 x 10-6 Pa |
| Z大工作壓力 | 1.3 x 10-1 Pa |
| 允許的前級(jí)壓力 | 67 Pa |
| 額定速度 | 55000 rpm |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | <6 分鐘 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 冷卻方法 | 自然冷卻（加熱和氣體泵送時(shí)進(jìn)行水冷卻或空氣冷卻） |
| 潤滑油 | 不需要 |
| 前級(jí)泵 | 240 lmin-1 |
| 泄露磁通量 | |
| 軸向方向 | <100 m/Gauss |
| 徑向方向 | <100 m/Gauss |
| 環(huán)境溫度范圍 | 0 至 40 °C |
| 存儲(chǔ)溫度范圍 | -25 至 55 °C |
| 重量 | 15 kg |
