特點
• 高耐壓性
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用DB15型電插頭,國際標準機械接頭
• CE認證,國際兼容
技術參數
編號 | 項目 | D07-11C | D07-11CM |
1 | 流量規格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
2 | 準確度 | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
3 | 線性 | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
4 | 重復精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
5 | 響應時間 | 電特性: 10 sec 氣特性: ≤ 4 sec | |
6 | 工作壓力 | 10 MPa | - |
7 | 氣壓降 | - | < 0.02 MPa |
8 | 工作壓差范圍 | ≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa | - |
9 | 耐壓 | 10 MPa | 10 MPa |
10 | 工作環境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
11 | 輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | |
12 | 電源 | +15 V 50 mA | |
13 | 外形尺寸 | 詳見圖4 | |
14 | 重量 | 1.2kg | 1kg |