VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),基片尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,銀,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。
性能指標和基本配置 | ||||||
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主要參數 | ● 輸入電源:220V 通用 功率:< 1KW | |||||
濺射腔體 | ● 采用石英腔體,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H | |||||
樣品臺 | ● 一個外徑50 mm 的樣品臺,用于盛放基片,可以電動控制移動三個位置 | |||||
控制面板 | ● 控制面板為PLC,4.3" 觸摸屏 | |||||
真空泵(選配) | ● 用機械泵真空度達 50 mtorr(僅供參考,詳情請點擊) | |||||
進氣口 | 一個精密可調針閥安裝在進氣口,以實現方便的調節進氣量 | |||||
靶材 | ● 要求安裝靶材的尺寸:直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm | |||||
各種靶材的參數(僅供參考) | 對于濺射各種金屬靶材,需要摸索的濺射參數,下表是本公司實驗所設置的參數(僅供參考,詳情請點擊) | |||||
靶材種類 | 真空度(Pa) | 濺射電流(mA) | 時間(s) | 濺射次數 | ||
Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | ||
Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | ||
產品尺寸 | 460mm×330mm×540mm (L×W×H) | |||||
凈重 | 50 kg(不包括泵) | |||||
使用注意事項 | ● 由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發鍍膜機。點擊下面圖片查看細節 | |||||
警告 | ● 注意:產品內部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體 | |||||
認證 | CE認證 | |||||
保修期 | 一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內 點擊查看售后服務承諾書。 |