一、高純硅烷分析氦離子氣相色譜儀
AGC NovaCHROM1000高純硅烷分析氦離子氣相色譜儀采用DID氦離子化檢測器，主要用于高純硅烷中H2、O2、N2、CH4、CO、CO2等分析。
AGC NovaCHROM1000，所有連接接口均采用1/8"VCR，保障了儀器的氣密性。安裝的閥門經過了嚴格的泄漏試驗，并且被裝在了有He氣吹掃的機殼內，與大氣隔離。因此杜絕了環境污染，從而保證儀器有更穩定、更靈敏和更長的使用壽命。
二、檢測限：
| AGC NovaCHROM1000氦離子氣相色譜儀檢測限（ppb） | |||||||||||
| 組分 | H2 | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 | C2H2 | N2O | Ne | Kr | Xe |
| 檢測限 | 5 | 10 | 10 | 1 | 10 | 10 | 5 | 10 | 10 | 10 | 10 |
三、主要特點：
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搭載DID氦離子化檢測器
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可搭載兩個或兩個以上檢測器
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ppb級的靈敏度
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快速響應時間≤0.5秒（90%）
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除獨立大柱箱，另外搭載多個獨立控溫的小柱箱
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每根色譜柱都有一個獨立溫控的柱箱
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電拋光不銹鋼管，酸洗鈍化處理
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可搭載哈氏合金氣路，做防腐蝕性處理
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根據需求，可選配帶加熱功能電磁閥
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集成
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長期的穩定性和靈敏性
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自動化的應用
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通過Trend-vision工作站軟件控制
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可根據用戶需定制不同的氣體分析方式
四、技術優勢：
色譜儀核心部件---- AGC公司的DID HFADD FID TCD檢測器基于愛爾蘭AGC公司的自主研發， 專用性強，具有很高的靈敏度和穩定性，是高純氣中低含量雜質分析的選擇；
的雙檢測器并聯----AGC公司研制雙檢測器并聯使用，搭載兩個獨立的檢測器，它們的溫控系統和操作運行都是獨立的兩個檢測器，可以串聯，亦可以并聯。
色譜儀氣路系統----獨到的中心切割、反吹系統技術，可以一次完成多種復雜成分的分析檢測;
色譜儀軟件系統----專門為AGC色譜配套研發的Trend Vision，除完成測試報告、自動分析/存儲數據，自動繪制譜圖、反控氣相色譜、調節保留時間及各種切割動作外，zui多可同時控制4臺分析儀器；
載氣純化系統----AGC 75-802載氣純化器為可再生型純化器，能將5.5N級氣體純化到7.5N以上，超高純度的載氣讓AGC高純氣氣相色譜儀具有更高的靈敏度；
載氣切換裝置----CGDP-01載氣切換裝置的配置，可同時承載兩瓶載氣，避免載氣使用完畢在切換氣源時進入污染氣體，載氣切換裝置的配置保證了AGC氣相色譜更高的工作效率和分析質量。
五、高純硅烷色譜圖：
