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GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

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  • 公司名稱深圳市科晶智達科技有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/11/8 15:46:32
  • 訪問次數330
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深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業研發部門的國家技術企業,長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發一站式服務平臺,為科學研究與產業孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯盟,目前已經搭建輻射的服務網絡,精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創立初期主要為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉移所使用的包裝制品,產品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進行材料相關研發設備和鋰電池實驗設備的開發,經過十多年的積累深圳科晶現已成為新能源和新材料基礎研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規劃者和提供者,產品應用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產品系列:按應用與工藝更新產品系列 ? 材料基礎研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案); ? 電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內標準等); ? 鋰離子電池中、小試生產制備全流程系統裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發實驗制備裝備(包括固體氧化物、質子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽能電池研發實驗制備; ? 功能薄膜研發實驗設備(包括混料、涂布、輥壓/復合、分切、復卷等); ? 高通量材料基因組實驗設備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結、測試表征等); 公司設立了開放的研發實驗室和設備體驗中心。對于鋰電池行業,可實現公斤級別材料制備及電池研發,能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發工作。 深圳科晶強大的研發團隊支撐了豐富的產品鏈,針對現有產品具有*知識產權的發明和實用新型共40多項(包含PCT和國內發明),并參與行業多項標準制定且獲得多個行業協會認可。 本著“精誠合作、創新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學、南開大學、上海交通大學、深圳大學、中航發航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構和企業簽署產學研合作。與此同時,深圳科晶設立了對外服務的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現場測試體驗,配備行業的售前技術人員協助研究者充分了解相關工藝和設備,縮短調研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關工藝試驗服務和培訓咨詢服務,協助細分領域的科研工作者快速掌握產業工藝,從而專注前沿研發。 材料科學是基礎科學。縱觀人類科技的發展歷史,新型材料的發現和應用將帶來巨大的產業機遇,而*的實驗裝備和儀器是為科研和應用保駕護航的重要保障。科晶團隊將一如既往秉承“客戶為本,技術為導,誠信為基,積極創新”的運營理念 ,竭力為科學研究和科技發展做出貢獻。
GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300?,特別適用于SEM樣品的鍍膜
GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀 產品信息
GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300?,特別適用于SEM樣品的鍍膜。
功能特點
  • 設有真空表、濺射電流表,可實時監控工作狀態。
  • 通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得鍍膜效果。
  • 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
  • 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
  • 根據電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
  • 已通過CE認證。
技術參數
安裝條件 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要
AC220V 50Hz,必須有良好接地
設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)
工作臺 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
通風裝置 不需要
電源 220V
總功率 <2000W(包括真空泵)
真空室 ?160mm×120mm
樣品臺 ?50mm,且高度可調,可同時進行8個SEM樣品的鍍膜
均勻鍍膜 ?45mm
尺寸 400mm×300mm×400mm
重量 30kg
可選配件 金、銦、銀、鉑等各種靶材
標準配件 1 金靶材 1個
2 進氣針閥 1個
3 保險絲 2個
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15700106413
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