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CS300質(zhì)量流量控制器&流量計

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京七星華創(chuàng)流量計有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2022/11/6 15:26:56
訪問次數(shù)406

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公司介紹主營產(chǎn)品

我們是一家專業(yè)提供工業(yè)領(lǐng)域

核心零部件的供應商，致力于實現(xiàn)核心零部件中國造的產(chǎn)業(yè)夢想。

七星流量計傳承了氣體流量測控領(lǐng)域40多年研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗，始終以技術(shù)創(chuàng)新為基點，為客戶過程控制中氣體的精準測控提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務。

在流量測控產(chǎn)品迭代升級的同時，七星流量計依據(jù)工業(yè)領(lǐng)域客戶新的零部件產(chǎn)品需求進行探索研究，深挖技術(shù)，創(chuàng)新產(chǎn)品，不斷拓寬產(chǎn)品線，形成了流量測控、壓力測控、磁流體密封裝置、氣路系統(tǒng)等系列產(chǎn)品，為半導體、太陽能、燃料電池、真空鍍膜、分析儀器等行業(yè)客戶需求，提供定制化零部件綜合解決方案及產(chǎn)品服務，其營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等世界主要國家和地區(qū)。

七星流量計未來將始終專注零部件領(lǐng)域的研發(fā)制造，堅持以客戶需求為導向，深耕發(fā)展，不斷創(chuàng)新，做好中國工業(yè)領(lǐng)域核心零部件產(chǎn)品，為更多的客戶提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品與服務。

展開顯示更多內(nèi)容

CS系列數(shù)字式質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器；D07系列模擬式質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器； PC系列數(shù)字式壓力控制器；D08系列流量顯示儀和積算儀；閥門管件和氣體管路系統(tǒng)。

產(chǎn)品簡介在線詢價

CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術(shù)指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。

CS300質(zhì)量流量控制器&流量計產(chǎn)品信息

優(yōu)勢

• 準確度采用設定點精度，產(chǎn)品精度可達±1.0% S.P.，響應時間≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準確性。
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。
• 產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達5RA以下，嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造。

技術(shù)參數(shù)

CS300
型號	CS310C		CS320C		CS310D		CS320D
閥類型	常開或常閉	無	常開或常閉	無	常開或常閉	無	常開或常閉	無
流量規(guī)格(N2)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度
線性	±0.5% F.S.
重復精度	±0.2% F.S.
響應時間	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa
溫度系數(shù)	零點：≤±0.02% F.S./℃；調(diào)節(jié)時：≤±0.05% F.S./℃
耐壓	3.5 MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	金屬密封
工作壓力	0.45MPa
工作環(huán)境溫度	（0～50）℃
輸入信號	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無
輸出信號	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
零漂	在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源	±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極)
表面化學成分	Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）				-
表面粗糙度	Ra 5μinch
標準接頭形式	VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭 1.125″W型密封接頭		1.5″B型密封接頭 1.5″C型密封接頭 1.5″W型密封接頭		VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭 1.125″W型密封接頭		1.5″B型密封接頭 1.5″C型密封接頭 1.5″W型密封接頭
電源接頭形式	D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg