產品簡介:
VTC-100PA-UV型紫外光旋轉涂膜機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、spin coater適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版及表面涂覆等工藝。該機腔體采用聚丙烯材質,耐腐蝕且使用壽命長,可用于強酸、強堿溶液的涂覆。本機上蓋具有紫外燈光照射的功能,尤其適用于對紫外光敏感的膠體,可使涂覆后的膠體迅速固化;此外紫外燈還具有聚合作用,可以把單體聚合成聚合物膜。上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有膠塞,當腔體需要密閉的環境時應將膠塞堵好。腔體帶有進氣孔,可在勻膠過程中對腔體通保護氣。樣件采用真空吸附方式進行固定,操作簡單,使樣件取放自如。配用專用定心工具可使樣件很容易放在吸盤中心位置,以減少偏心帶來的震動,避免造成飛片。根據樣件的大小可以選擇不同規格的吸盤,吸盤更換簡單方便。本機使用精密直流無刷電機,啟動快、速度穩定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
產品型號 | VTC-100PA-UV型紫外光旋轉涂膜機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、spin coater | ||
主要特點 | 1、采用真空吸盤固定樣件,樣件固定牢固且取放簡單方便;真空吸盤大小可根據需要進行定制。 2、該機上蓋具有紫外燈光照射的功能,紫外光的強度可以在一定范圍內進行調整。 3、本機上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有注液孔塞,當腔體需要密閉環境時可使用該孔塞將孔密閉。 4、該機帶有保護氣接孔,可對腔體通保護氣。 2、電機部分、紫外燈光控制部分分別使用獨立的電源進行控制。電機調速系統采用單板機+液晶顯示屏進行控制,數值顯示更直觀可靠,轉數在500-10000RPM內可調;紫光燈采用抗干擾性強的PLC控制器進行控制。 3、涂膜機在工作時設有兩個階段,在啟動前根據實際需要,可分別進行時間1、轉速1、時間2、轉速2的設置。設置完成啟動后,涂膜機先以轉速1在時間1時間內運轉,使涂膜物質逐漸分散開。當時間1結束后,涂膜機自動進入時間2階段運轉,使涂膜物質更加均勻。 3、紫光燈真空旋轉涂膜機啟動快速、轉數穩定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 4、在安裝結構上,采取了減震措施,降低運轉時的噪音。 5、腔體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能;機身采用鑄鋁結構,結實耐用且質輕。 | ||
技術參數 | 1、電源:AC220/110V 50/60Hz 2、電機功率: 350W/24V 3、速度范圍:500-10000rpm 4、可儲存1組程序,程序包含2個運行階段,每段增減速率設置范圍: 100 rpm s—2000 rpm /s,每段時間范圍:0-600s 5、吸盤規格:φ19mm φ60mm 6、保護氣進氣孔規格:φ8㎜ 7、真空氣孔規格:φ8㎜ 8、紫光燈功率范圍:8-30W 9、紫光燈時間設置范圍:1-800S 10、外形尺寸:450×280×340mm 11、重量:20Kg | ||
標準配件 | 1 | 真空吸盤 | 2件(φ19 mm和φ60 mm) |
2 | 中心定位器 | 1件 | |
3 | 無油真空泵 | 1臺 | |
可選配件 | 進口移液器
國產移液槍
真空吸盤
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