一，數字激光平面干涉儀用途和特點：
可廣泛適用于計量實驗室對高精度平面的平面度檢測和鑒定。能根據不同的要求打印出各種平面度測試的彩色等高圖以及三維立體透視圖。并給出波峰波谷值（PV），面形誤差（Em），均方根值（Rms），光圈數等面形評價參數。人體溫度對測量可靠性的影響為最小。
儀器的配套性：（選配）
1，連接監視器
移相式數字波面干涉儀、1/3英寸CCD、14″監視器、掃描驅動器、驅動器電源、EPSON720彩色打印機。
2，連接電腦軟件分析
電腦配置要求：CPU 雙核以上，2G內存，320G硬盤，512M顯存顯卡，視頻捕捉卡
二 數字激光平面干涉儀技術參數：
平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
準直系統工作直徑Φ400mm，焦距 f = 400mm
連續變倍放大干涉圖：不小于6倍
光源規格激光ZN18(He-Ne) 波長632.8nm
數據采集分辨力：800*600
干涉室尺寸：Φ580×380×285mm
標準參考面，采用石英材料制成的平面標準鏡，精度為一級平晶
三、PSI干涉條紋分析系統（選配）
1． 計算機：
目前是聯想商用機。
2． 輸出數據：
(1) 峰谷值（PV）、標準偏差（RMS）、二維等值圖（等高圖）、三維立體圖、任意位置剖面圖，圖形可以自由放大、旋轉；
(2) Zernike多項式；
(3) 數據可保存、可輸出打印測試報告，具有數據庫管理系統；
(4) 開放數據輸出格式，方便后續分析；
3． 測量功能
(1) 系統在WINDOWS2000、XP下運行，允許進行網絡數據傳輸；
(2) 測量區域的確定，可提供圓、矩形、橢圓等基本形狀及其組合；允許在區域中扣除非測量區域；
(3) 具有干涉圖像邊界自動判讀功能（也可根據直方圖分析進行人工干預），方便測試不規則件；
(4) 具有干涉圖亮度軟件調節機制，可通過軟件面板進行所有干涉儀內部電氣操控；
(5) 傾斜、像散、等可以自動消除或人工設定消除，方便檢測；
(6) 可選用的測試軟件包*：
光學材料均勻性測試
楔板、楔角、直角棱鏡的直角偏差
屋脊角測試
錐體棱鏡兩面角及綜合波差測試
平面檢驗
. 注*：部分功能需要配置特殊測試裝置。
4． 提供軟件升級、維護、售后技術支持及使用培訓、硬件維修；
四、數字激光平面干涉儀安裝、調試及驗收
1． 到貨后，需方準備好安裝現場，由供方工程師到需方現場進行安裝、調試和操作培訓，合格后需方在驗收合格證書上簽字確認。
2． 儀器驗收條件：儀器放置在工作穩定的光學平臺上；環境溫度符合國家標準（JJG28－2000）要求；無氣流擾動。
3． 驗收項目
a) 開箱按合同核對供貨數量；
b) 儀器調試完畢后，根據技術協議驗收儀器的主要精度指標。
c) 供方提供儀器出廠合格證明文件。
五、數字激光平面干涉儀技術指導
最終驗收完成后，由供方工程師為需方技術人員、操作人員進行現場儀器使用技術指導（培訓0.5-1個工作日）。內容包括：儀器的正確使用和操作，儀器的一般故障的排除和日常維護保養等。
六、儀器保修期
1． 儀器保修期為12個月，由最終驗收合格需方簽署驗收合格證書之日起計算；
2． 保修期內，供方免費提供非人為因素故障維修服務，并免費更換件，保修期外，供方亦提供及時有償服務。
