描述
108 Auto是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
主要特性
一、自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導電噴鍍效果。
二、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
四、在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果,
五、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。
六、數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標配),靶材更換快速方便。
技術參數
濺射系統 | |
樣品室大小 | 直徑120mm x 120mm 高 |
靶材 | 標配Au ,可選配 Au:Pd, Pt, Pt:Pd等;大小:直徑57mm x 0.1mm厚 |
樣品臺 | 可以裝載12個SEM樣品座,高度可調范圍為65mm。可選配旋轉傾斜樣品臺, 旋轉速度:0~120rpm可調,傾斜角度:0~90°可調。旋轉樣品臺具有單獨腔體保護,可防污染。 |
濺射控制 | 微處理器控制,安全互鎖,可調,電流10、20、30、40mA,程序化數字控制 |
濺射頭 | 低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環繞暗區護罩 |
計量 | atm~1*10-3mba / 0~50mA |
厚度監控(選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動終止濺射過程. |
控制方法 | 自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫?!笨刂频臄底侄〞r器(5-300s),自動放氣.整個操作亦可全手動控制。 |
真空系統 | |
真空泵 | 2級直連式高速真空泵 |
抽氣速率 | 100L/MIN |
噪音 | 50dB |
極限真空 | ≤1 x 10-3 Torr |